[实用新型]掩膜板及蒸镀装置

说明书

本实用新型实施例中的技术方案，在掩膜板边框的第一表面设置开口，且所述开口延伸至第二表面形成通孔，并且在边框的第一表面还设置与所述开口连通的导流槽，对位掩膜条至少部分覆盖所述导流槽。通过在边框和对位掩膜条接触的部分设置所述导流槽，在清洗过程中边框与对位掩膜条的连接处的清洗残留液通过该导流槽将排出，避免其连接处的残留液堵塞，提高掩膜板和掩膜装置的清洗的效果，从而避免未清洗干净的掩膜板和掩膜装置对蒸镀操作的影响，从而可以提高OLED显示面板的品质，可以避免出现蒸镀过程中发生混色不良。

技术领域

本实用新型涉及显示技术领域，尤其涉及一种掩模板及蒸镀装置。

背景技术

有机电致发光显示(Organic Light Emitting Display，OLED)是一种极具发展前景的显示技术。OLED显示装置不仅具有十分优异的显示性能，还具有自发光、结构简单、超轻薄、响应速度快、宽视角、低功耗及可实现柔性显示等特性，被誉为“梦幻显示器”，得到了各大显示器厂家的青睐，已成为显示技术领域主力军。

OLED面板的RGB像素膜层和通用层膜层需要使用掩膜板将待蒸镀材料蒸镀到基板上，在蒸镀前需要将掩膜板进行对位，利用掩膜板框架与对位掩膜条进行搭接并对位，在蒸镀完成后需要清洗蒸镀在掩膜板上面的残留材料，在掩膜板清洗装置通过药液置换，最终洗掉掩膜板表面的附着的残留材料，但是目前，掩膜条框架与对位掩膜条的搭接区易发生药液残留，导致蒸镀过程中发生混色不良。

实用新型内容

本实用新型提供一种掩模板及蒸镀装置，可以提高对掩膜板和蒸镀装置的清洗的质量，可以避免出现蒸镀过程中发生混色不良。

在本实用新型的一个实施例中，掩膜板包括掩膜框架，由多条边框围设形成；

设置在所述边框上的对位掩膜条；

所述边框包括靠近所述对位掩膜条的第一表面和远离所述对位掩膜条的第二表面，所述第一表面设置有开口，且所述开口延伸至第二表面形成通孔，所述边框的第一表面设置有与所述开口连通的导流槽，所述对位掩膜条至少部分覆盖所述导流槽。

在本实用新型的一个实施例中，可选地，所述导流槽包括进水口和、出水口，所述进水口与所述开口连通，所述出水口位于所述掩膜框架的边缘。

在本实用新型的一个实施例中，可选地，所述边框设置有多个沿第一方向排列的所述开口，与每个所述开口连通的多个导流槽的延伸方向不同，所述第一方向为所述边框的延伸方向。

在本实用新型的一个实施例中，可选地，与每个所述开口连通的所述导流槽有两个，两个所述导流槽沿第一方向对称设置。

在本实用新型的一个实施例中，可选地，在平行于所述第一表面的平面上，所述对位掩膜条的投影边缘与所述导流槽的所述出水口的投影重合。

在本实用新型的一个实施例中，可选地，所述对位掩膜条在所述掩膜框架第一面上的投影完全落入掩膜框架内。

在本实用新型的一个实施例中，可选地，所述对位掩膜条有多个，所述多个掩膜条沿所述第一方向排列，每个所述对位掩膜条与所述一个开口对应；所述对位掩膜条上设置有对位孔，在平行于所述第一表面的平面上，所述对位孔的孔径的投影落入所述开口的投影范围内。

在本实用新型的一个实施例中，可选地，所述导流槽宽度为1-2mm，所述导流槽深度为0.5-1mm。

在本实用新型的一个实施例中，可选地，所述通孔的延伸方向与所述第一表面不垂直。

在本实用新型的另一实施例中，包括一蒸镀装置，包括如上任一项中所述的掩膜板。