[实用新型]一种用于生产高纯度光刻胶的合成器有效
申请号: | 202121450201.3 | 申请日: | 2021-06-28 |
公开(公告)号: | CN215506768U | 公开(公告)日: | 2022-01-14 |
发明(设计)人: | 刘明亮;柴新刚;陈琪君;冯斐斐;马秀艳;兰治全;陈雷;赵晨 | 申请(专利权)人: | 中国化学赛鼎宁波工程有限公司 |
主分类号: | B01J19/18 | 分类号: | B01J19/18;B01J19/00 |
代理公司: | 宁波成舟专利代理事务所(普通合伙) 33306 | 代理人: | 高经 |
地址: | 315048 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型涉及合成设备技术领域,具体涉及一种用于生产高纯度光刻胶的合成器,其包括筒体、上封头和下封头,上封头设在筒体的上端开口处,下封头设在筒体的下端开口处,构成合成器的壳体,壳体内设有搅拌器,搅拌器包括旋转轴和设于旋转轴上的搅拌桨叶,旋转轴上端通过密封装置与设于上封头上方的电机连接,密封装置连接装有干惰性气体的干气压力罐、通过调节干惰性气体的压力以使密封装置密封所述壳体内部。本实用新型所述合成器的密封性能好,可隔离空气,提高光刻胶的纯度。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 生产 纯度 光刻 合成器 | ||
【主权项】:
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