[实用新型]一种用于生产高纯度光刻胶的合成器

权利要求书

1.一种用于生产高纯度光刻胶的合成器，包括筒体、上封头和下封头，所述上封头设在所述筒体的上端开口处，所述下封头设在所述筒体的下端开口处，构成所述合成器的壳体，其特征在于，

所述壳体内设有搅拌器，所述搅拌器包括旋转轴和设于所述旋转轴上的搅拌桨叶，所述旋转轴上端通过密封装置与设于所述上封头上方的电机连接，所述密封装置连接装有干惰性气体的干气压力罐、通过调节所述干惰性气体的压力使所述密封装置密封所述壳体内部。

2.根据权利要求1所述的合成器，其特征在于，所述干气压力罐的出气口与所述密封装置的进气口之间设有调节干惰性气体压力的压力调节阀。

3.根据权利要求1或2所述的合成器，其特征在于，所述干气压力罐的出气口与所述密封装置的进气口之间设有调节干惰性气体温度的干气换热器。

4.根据权利要求1所述的合成器，其特征在于，所述合成器还设有驱动所述旋转轴动作以调节旋转轴两侧的搅拌桨叶的边缘与筒体内壁之间间距的调节机构。

5.根据权利要求4所述的合成器，其特征在于，所述旋转轴两侧的搅拌桨叶的边缘与对应所述筒体内壁之间设有挡板。

6.根据权利要求5所述的合成器，其特征在于，所述旋转轴两侧的搅拌桨叶的边缘与对应挡板之间的间距为30~60mm。

7.根据权利要求5所述的合成器，其特征在于，所述挡板与对应筒体内壁之间具有夹角α，所述夹角α的范围为90～180°。

8.根据权利要求5所述的合成器，其特征在于，所述壳体内壁、所述搅拌器和所述挡板的外表面设有聚四氟乙烯涂层。

9.根据权利要求1所述的合成器，其特征在于，所述上封头设置进料口、温度计口、压力表口、气相平衡口和稀释剂入口，气相平衡口通过管道与气体平衡罐连接，所述下封头设置出料口。

10.根据权利要求1所述的合成器，其特征在于，所述下封头的外周设有恒温夹套，所述恒温夹套通过管道与热交换器连接。