[实用新型]一种坩埚可调节板组件有效
| 申请号： | 202121443502.3 | 申请日： | 2021-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN215713334U | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;侯娟华 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种坩埚可调节板组件，所述组件包括坩埚夹持单元以及锁紧单元，所述坩埚夹持单元包括基台部以及夹持部，所述基台部的底面与所述夹持部的顶端相连，所述夹持部侧壁设置有至少一个开口，所述锁紧单元环绕设置于所述夹持部外壁。所述坩埚可调节板组件可按使用需求调整高度，适用范围广，成本低，可以适用于多种工况。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 坩埚 调节 组件 | ||
【主权项】：
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