[实用新型]一种坩埚可调节板组件有效
| 申请号: | 202121443502.3 | 申请日: | 2021-06-28 |
| 公开(公告)号: | CN215713334U | 公开(公告)日: | 2022-02-01 |
| 发明(设计)人: | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;侯娟华 | 申请(专利权)人: | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34 |
| 代理公司: | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人: | 王岩 |
| 地址: | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 坩埚 调节 组件 | ||
1.一种坩埚可调节板组件,其特征在于,所述组件包括坩埚夹持单元以及锁紧单元,所述坩埚夹持单元包括基台部以及夹持部,所述基台部的底面与所述夹持部的顶端相连,所述夹持部侧壁设置有至少一个开口,所述锁紧单元环绕设置于所述夹持部外壁。
2.根据权利要求1所述的坩埚可调节板组件,其特征在于,所述夹持部侧壁设置的开口位于所述夹持部底端,并平行沿所述侧壁延伸。
3.根据权利要求1所述的坩埚可调节板组件,其特征在于,所述夹持部侧壁设置的开口的宽度分别独立地为1.0~2.0mm。
4.根据权利要求1所述的坩埚可调节板组件,其特征在于,所述夹持部侧壁设置有至少8个开口。
5.根据权利要求4所述的坩埚可调节板组件,其特征在于,所述开口等间距设置。
6.根据权利要求1所述的坩埚可调节板组件,其特征在于,所述锁紧单元为锁紧弹簧。
7.根据权利要求6所述的坩埚可调节板组件,其特征在于,所述锁紧单元侧壁设置有开口。
8.根据权利要求7所述的坩埚可调节板组件,其特征在于,所述开口平行贯穿所述锁紧单元侧壁。
9.根据权利要求7所述的坩埚可调节板组件,其特征在于,所述开口的宽度为1.5~2.5mm。
10.根据权利要求1所述的坩埚可调节板组件,其特征在于,所述锁紧单元与所述夹持部滑动连接。
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