[实用新型]一种坩埚可调节板组件有效

专利信息
申请号: 202121443502.3 申请日: 2021-06-28
公开(公告)号: CN215713334U 公开(公告)日: 2022-02-01
发明(设计)人: 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;侯娟华 申请(专利权)人: 宁波江丰电子材料股份有限公司
主分类号: C23C14/34 分类号: C23C14/34
代理公司: 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 代理人: 王岩
地址: 315400 浙江省宁波市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 坩埚 调节 组件
【权利要求书】:

1.一种坩埚可调节板组件,其特征在于,所述组件包括坩埚夹持单元以及锁紧单元,所述坩埚夹持单元包括基台部以及夹持部,所述基台部的底面与所述夹持部的顶端相连,所述夹持部侧壁设置有至少一个开口,所述锁紧单元环绕设置于所述夹持部外壁。

2.根据权利要求1所述的坩埚可调节板组件,其特征在于,所述夹持部侧壁设置的开口位于所述夹持部底端,并平行沿所述侧壁延伸。

3.根据权利要求1所述的坩埚可调节板组件,其特征在于,所述夹持部侧壁设置的开口的宽度分别独立地为1.0~2.0mm。

4.根据权利要求1所述的坩埚可调节板组件,其特征在于,所述夹持部侧壁设置有至少8个开口。

5.根据权利要求4所述的坩埚可调节板组件,其特征在于,所述开口等间距设置。

6.根据权利要求1所述的坩埚可调节板组件,其特征在于,所述锁紧单元为锁紧弹簧。

7.根据权利要求6所述的坩埚可调节板组件,其特征在于,所述锁紧单元侧壁设置有开口。

8.根据权利要求7所述的坩埚可调节板组件,其特征在于,所述开口平行贯穿所述锁紧单元侧壁。

9.根据权利要求7所述的坩埚可调节板组件,其特征在于,所述开口的宽度为1.5~2.5mm。

10.根据权利要求1所述的坩埚可调节板组件,其特征在于,所述锁紧单元与所述夹持部滑动连接。

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