[实用新型]一种基板热处理装置有效
| 申请号： | 202121432801.7 | 申请日： | 2021-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN216144152U | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 宋英雄 | 申请（专利权）人： | 上海宝华威热处理设备有限公司 |
| 主分类号： | F27B9/02 | 分类号： | F27B9/02;F27B9/12;F27B9/24;F27B9/36;F25D31/00;F25D25/04;H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海老虎专利代理事务所(普通合伙) 31434 | 代理人： | 葛瑛 |
| 地址： | 200000 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及热处理技术领域，尤其涉及一种基板热处理装置，本实用新型要解决的技术问题是等待冷却耗费时间和人工取件危害健康，为了解决上述技术中的问题，本实用新型提供一种基板热处理装置，本实用新型由冷却机构、加热架构和传送机构，通过冷却基板和全自动操作链，在基板进行加热完毕后，通过传送机构、第二电动推杆和真空吸盘，将加热基板吸至冷却箱，大大的减少了工作人员的时间，增加了工作人员的工作效率；本实用新型设置加热机构和传送机构，通过传输机构将加热机构中加热的基板直接传输至冷却箱，通过全自动化的操作流程，避免了加热后基板暴露在空气中产生有害气体，对工作人员造成伤害，危险健康，增加了工作人员的安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 热处理 装置 | ||
【主权项】：
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