[实用新型]一种基板热处理装置

说明书

本实用新型涉及热处理技术领域，尤其涉及一种基板热处理装置，本实用新型要解决的技术问题是等待冷却耗费时间和人工取件危害健康，为了解决上述技术中的问题，本实用新型提供一种基板热处理装置，本实用新型由冷却机构、加热架构和传送机构，通过冷却基板和全自动操作链，在基板进行加热完毕后，通过传送机构、第二电动推杆和真空吸盘，将加热基板吸至冷却箱，大大的减少了工作人员的时间，增加了工作人员的工作效率；本实用新型设置加热机构和传送机构，通过传输机构将加热机构中加热的基板直接传输至冷却箱，通过全自动化的操作流程，避免了加热后基板暴露在空气中产生有害气体，对工作人员造成伤害，危险健康，增加了工作人员的安全性。

技术领域

本实用新型涉及热处理技术领域，具体为一种基板热处理装置。

背景技术

一种结构简单、可抑制使伴随着基板的热处理而产生的生成气体冷却而产生的所谓升华物的发生的热处理装置，热处理装置包括具有用于向基板处理部供给热风的热风供给部件的空气调整部、以及用于对基板进行热处理的热处理室。热处理装置配置有催化壁，载持有促进在热处理室的最下游一侧、当处理基板时所产生的生成气体的氧化分解的催化剂，但是现有的热处理装置存在很多问题或缺陷：

现有的热处理装置没有一个完善的冷却装置，在基板进行加热后，需要等待基本冷却后再将基板取出，这样很耗费时间，大大的影响了人员的工作效率；其次现有的热处理装置需要人工将基板放置进加热箱进行加热，在加热结束后，也是人工取出加热后的基板，由于基板加热后会产生有害气体，大大的危害了人体的健康。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种基板热处理装置，通过冷却机构和加热机构，以解决上述背景技术中提出的等待冷却耗费时间和人工取件危害健康的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种基板热处理装置，包括热处理装置外壳、加热机构、冷却机构和传送机构。

所述热处理装置外壳正面内嵌安装有观察镜，所述热处理装置外壳底端面固定连接万向轮，所述热处理装置外壳背面固定连接有推手把，所述热处理装置外壳顶端内壁固定连接蓄电池，所述热处理装置外壳一侧贯穿有出板口，所述热处理装置外壳远离出板口的一侧贯穿有进板口，所述热处理装置外壳顶端内壁固定连接有固定架。

所述加热机构包括加热箱、第一电动推杆、移动盘和温度控制器，所述固定架底端固定连接至加热箱的顶端面，所述加热箱一侧内嵌加热箱观察镜，所述加热箱顶端内壁固定连接加热器，所述加热器电性连接温度控制器，所述热处理装置外壳顶端内壁固定连接第一电动推杆，所述第一电动推杆底端固定连接真空吸盘，所述移动盘顶端面固定连接支撑杆，所述移动盘底端面固定连接第一支撑架，所述第一支撑架一侧固定安装有电动滚轮。

所述冷却机构包括冷却箱、水箱、水泵和雾化喷头，所述热处理装置外壳远离蓄电池的一侧内壁固定连接水箱，所述水箱底端内壁放置有水泵，所述水泵出水端卡套式连接水管，所述水管出水端活动安装有雾化喷头，所述水箱的一侧外壁固定连接冷却箱，所述冷却箱一侧外壁内嵌冷却箱观察镜，所述热处理装置外壳顶端内壁固定连接第二电动推杆。

所述传送机构包括隔热板、飞轮、电动机和第二支撑架，所述隔热板内壁粘接有链条，所述链条链传动有飞轮，所述飞轮固定连接有电动机的输出端，所述热处理装置外壳底端内壁固定连接第二支撑架。

优选的，所述推手把的结构形状呈倒凵形，所述万向轮在热处理装置外壳的底端呈矩形分布，所述万向轮的数量为四个。

优选的，所述支撑杆的数量为八个，所述移动盘的数量为两个，所述第二支撑架数量为两个，所述雾化喷头的数量为两个。

优选的，所述第一电动推杆、第二电动推杆、水泵和电动机均电性连接蓄电池，所述热处理装置外壳一侧开设有蓄电池充电口。

优选的，所述热处理装置外壳顶端面内嵌电动推杆控制器，所述电动推杆控制器电性连接第一电动推杆和第二电动推杆。