[实用新型]一种基板热处理装置有效
申请号: | 202121432801.7 | 申请日: | 2021-06-24 |
公开(公告)号: | CN216144152U | 公开(公告)日: | 2022-03-29 |
发明(设计)人: | 宋英雄 | 申请(专利权)人: | 上海宝华威热处理设备有限公司 |
主分类号: | F27B9/02 | 分类号: | F27B9/02;F27B9/12;F27B9/24;F27B9/36;F25D31/00;F25D25/04;H01L21/67;H01L21/677 |
代理公司: | 上海老虎专利代理事务所(普通合伙) 31434 | 代理人: | 葛瑛 |
地址: | 200000 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 热处理 装置 | ||
1.一种基板热处理装置,其特征在于:包括热处理装置外壳(1)、加热机构、冷却机构和传送机构;
所述热处理装置外壳(1)正面内嵌安装有观察镜(2),所述热处理装置外壳(1)底端面固定连接万向轮(3),所述热处理装置外壳(1)背面固定连接有推手把(4),所述热处理装置外壳(1)顶端内壁固定连接蓄电池(5),所述热处理装置外壳(1)一侧贯穿有出板口(6),所述热处理装置外壳(1)远离出板口(6)的一侧贯穿有进板口(7),所述热处理装置外壳(1)顶端内壁固定连接有固定架(8);
所述加热机构包括加热箱(9)、第一电动推杆(10)、移动盘(14)和温度控制器(12),所述固定架(8)底端固定连接至加热箱(9)的顶端面,所述加热箱(9)一侧内嵌加热箱观察镜(29),所述加热箱(9)顶端内壁固定连接加热器(11),所述加热器(11)电性连接温度控制器(12),所述热处理装置外壳(1)顶端内壁固定连接第一电动推杆(10),所述第一电动推杆(10)底端固定连接真空吸盘(13),所述移动盘(14)顶端面固定连接支撑杆(15),所述移动盘(14)底端面固定连接第一支撑架(16),所述第一支撑架(16)一侧固定安装有电动滚轮(17);
所述冷却机构包括冷却箱(22)、水箱(18)、水泵(19)和雾化喷头(21),所述热处理装置外壳(1)远离蓄电池(5)的一侧内壁固定连接水箱(18),所述水箱(18)底端内壁放置有水泵(19),所述水泵(19)出水端卡套式连接水管(20),所述水管(20)出水端活动安装有雾化喷头(21),所述水箱(18)的一侧外壁固定连接冷却箱(22),所述冷却箱(22)一侧外壁内嵌冷却箱观察镜(28),所述热处理装置外壳(1)顶端内壁固定连接第二电动推杆(27);
所述传送机构包括隔热板(23)、飞轮(24)、电动机(25)和第二支撑架(26),所述隔热板(23)内壁粘接有链条(30),所述链条(30)链传动有飞轮(24),所述飞轮(24)固定连接有电动机(25)的输出端,所述热处理装置外壳(1)底端内壁固定连接第二支撑架(26)。
2.根据权利要求1所述的一种基板热处理装置,其特征在于:所述推手把(4)的结构形状呈倒凵形,所述万向轮(3)在热处理装置外壳(1)的底端呈矩形分布,所述万向轮(3)的数量为四个。
3.根据权利要求1所述的一种基板热处理装置,其特征在于:所述支撑杆(15)的数量为八个,所述移动盘(14)的数量为两个,所述第二支撑架(26)数量为两个,所述雾化喷头(21)的数量为两个。
4.根据权利要求1所述的一种基板热处理装置,其特征在于:所述第一电动推杆(10)、第二电动推杆(27)、水泵(19)和电动机(25)均电性连接蓄电池(5),所述热处理装置外壳(1)一侧开设有蓄电池充电口。
5.根据权利要求1所述的一种基板热处理装置,其特征在于:所述热处理装置外壳(1)顶端面内嵌电动推杆控制器,所述电动推杆控制器电性连接第一电动推杆(10)和第二电动推杆(27)。
6.根据权利要求1所述的一种基板热处理装置,其特征在于:所述加热箱(9)底端开有滑槽,所述滑槽数量为四个,所述水箱(18)顶端面开有加水口。
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