[实用新型]一种晶圆烘烤装置有效
| 申请号： | 202121427838.0 | 申请日： | 2021-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN215373446U | 公开（公告）日： | 2021-12-31 |
| 发明（设计）人： | 罗秀利;胡华维;蔡斌;袁珍宝 | 申请（专利权）人： | 茂德科技（武汉）有限公司 |
| 主分类号： | F26B25/18 | 分类号： | F26B25/18;F26B25/06;H01L21/67 |
| 代理公司： | 郑州银河专利代理有限公司 41158 | 代理人： | 裴景阳 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市经济技术开发区8*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种晶圆烘烤装置，属于晶圆加工技术领域，包括烘烤机构以及提篮，所述提篮上设置提取机构，所述提取机构包括固定杆以及设置在固定杆两端的支撑杆，两个所述支撑杆端部设置固定块，所述固定杆内设置第一通孔，所述第一通孔内设置牵引杆，对应所述第一通孔在固定杆上设置通槽，所述牵引杆上对应第一通孔设置弹舌，所述支撑杆内设置第二通孔，对应第二通孔在固定块内设置导向孔，所述第一通孔与第二通孔相通，所述第二通孔与导向孔相通；本实用新型将提篮从烘烤机构内取出时不会因为高温从而发生提篮掉落等情况。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 烘烤 装置 | ||
【主权项】：
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