[实用新型]一种晶圆烘烤装置有效
| 申请号： | 202121427838.0 | 申请日： | 2021-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN215373446U | 公开（公告）日： | 2021-12-31 |
| 发明（设计）人： | 罗秀利;胡华维;蔡斌;袁珍宝 | 申请（专利权）人： | 茂德科技（武汉）有限公司 |
| 主分类号： | F26B25/18 | 分类号： | F26B25/18;F26B25/06;H01L21/67 |
| 代理公司： | 郑州银河专利代理有限公司 41158 | 代理人： | 裴景阳 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市经济技术开发区8*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 烘烤 装置 | ||
1.一种晶圆烘烤装置，其特征在于：包括烘烤机构(1)以及提篮(2)，所述提篮(2)上设置提取机构，所述提取机构包括固定杆(3)以及设置在固定杆(3)两端的支撑杆(8)，两个所述支撑杆(8)端部设置固定块(10)，所述固定杆(3)内设置第一通孔(4)，所述第一通孔(4)内设置牵引杆(5)，对应所述第一通孔(4)在固定杆(3)上设置通槽(6)，所述牵引杆(5)上对应第一通孔(4)设置弹舌(7)，所述支撑杆(8)内设置第二通孔(9)，对应第二通孔(9)在固定块(10)内设置导向孔(11)，所述第一通孔(4)与第二通孔(9)相通，所述第二通孔(9)与导向孔(11)相通。
2.如权利要求1所述的一种晶圆烘烤装置，其特征在于：所述第二通孔(9)内设置伸缩杆(12)，所述导向孔(11)内滑动设置导向杆(13)，所述伸缩杆(12)端部与导向杆(13)一端相连接，所述伸缩杆(12)上设置弹簧(14)，所述弹簧(14)的一端与第二通孔(9)的侧壁相连接，弹簧(14)的另一端与导向杆(13)度端部相连接。
3.如权利要求2所述的一种晶圆烘烤装置，其特征在于：所述牵引杆(5)两端设置第一卡环(15)，所述伸缩杆(12)底端设置第二卡环(16)，所述导向杆(13)端部设置第三卡环(17)，所述第一卡环(15)上设置牵引绳(18)，所述牵引绳(18)穿过第二卡环(16)与第三卡环(17)相连接。
4.如权利要求2所述的一种晶圆烘烤装置，其特征在于：所述导向杆(13)另一端设置卡块(19)，对应所述卡块(19)在提篮(2)两侧设置卡槽(20)。
5.如权利要求1所述的一种晶圆烘烤装置，其特征在于：所述支撑杆(8)上设置把手(21)，所述把手(21)上设置橡胶层(22)。
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