[实用新型]一种硅片生产用脱胶机内转运装置

摘要

本实用新型公开了一种硅片生产用脱胶机内转运装置，属于硅片脱胶领域，包括机架，机架的表面对称固定安装有电动缸，电动缸的表面固定安装有支撑板，支撑板的表面放置有硅片，支撑板的表面对称固定安装有固定板，固定板的表面对称设有滑孔，滑孔的内壁滑动安装有顶杆，它通过弹簧的形变作用，可推动夹板对硅片进行夹紧固定，并在限位板的作用下，提高硅片的稳定效果，在电动缸的作用下，可推动支撑板沿机架内壁上移，从而带动硅片与刮板接触，通过电机带动螺纹轴的正反转动，在螺纹连接的关系下，可推动刮板进行往复移动，并在第一挡环、第二挡环的作用下，进行有效限位处理，从而彻底完成硅片表面脱胶作业。