[实用新型]一种硅片生产用脱胶机内转运装置有效

专利信息
申请号: 202121415733.3 申请日: 2021-06-24
公开(公告)号: CN214956810U 公开(公告)日: 2021-11-30
发明(设计)人: 叶挺宁 申请(专利权)人: 中赣新能源股份有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683
代理公司: 温州名创知识产权代理有限公司 33258 代理人: 程嘉炜
地址: 335000 江*** 国省代码: 江西;36
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摘要:
搜索关键词: 一种 硅片 生产 脱胶 转运 装置
【说明书】:

实用新型公开了一种硅片生产用脱胶机内转运装置,属于硅片脱胶领域,包括机架,机架的表面对称固定安装有电动缸,电动缸的表面固定安装有支撑板,支撑板的表面放置有硅片,支撑板的表面对称固定安装有固定板,固定板的表面对称设有滑孔,滑孔的内壁滑动安装有顶杆,它通过弹簧的形变作用,可推动夹板对硅片进行夹紧固定,并在限位板的作用下,提高硅片的稳定效果,在电动缸的作用下,可推动支撑板沿机架内壁上移,从而带动硅片与刮板接触,通过电机带动螺纹轴的正反转动,在螺纹连接的关系下,可推动刮板进行往复移动,并在第一挡环、第二挡环的作用下,进行有效限位处理,从而彻底完成硅片表面脱胶作业。

技术领域

本实用新型涉及硅片脱胶领域,更具体地说,涉及一种硅片生产用脱胶机内转运装置。

背景技术

硅片是一种具有基本完整的点阵结构的晶体,是一种良好的半导材料,主要应用在航空航天、国防和工业自动化等领域,对于太阳能电池板内部使用的硅片的来说,为了保证硅片的正常使用,硅片需要在进行脱胶操作。

但是,多数的硅片生产用脱胶机内转运装置,也存在一定的不足之处,硅片的夹紧机构存在晃动缺陷,整体紧凑性不佳,且刮板难以进行往复移动,对硅片进行彻底脱胶处理。

实用新型内容

针对现有技术中存在的问题,本实用新型的目的在于提供一种硅片生产用脱胶机内转运装置,它通过弹簧的形变作用,可推动夹板对硅片进行夹紧固定,并在限位板的作用下,提高硅片的稳定效果,在电动缸的作用下,可推动支撑板沿机架内壁上移,从而带动硅片与刮板接触,通过电机带动螺纹轴的正反转动,在螺纹连接的关系下,可推动刮板进行往复移动,并在第一挡环、第二挡环的作用下,进行有效限位处理,从而彻底完成硅片表面脱胶作业。

为解决上述问题,本实用新型采用如下的技术方案。

一种硅片生产用脱胶机内转运装置,包括机架与刮板,所述机架的表面对称固定安装有电动缸,所述电动缸的表面固定安装有支撑板,所述支撑板的表面放置有硅片,所述支撑板的表面对称固定安装有固定板,所述固定板的表面对称设有滑孔,所述滑孔的内壁滑动安装有顶杆,所述顶杆的表面固定安装有夹板,所述夹板与硅片之间滑动连接,所述机架的表面对称设有圆孔,所述圆孔的内壁通过轴承固定安装有螺纹轴,所述螺纹轴的表面固定安装有电机,所述刮板的表面对称设有螺纹孔,所述螺纹孔与螺纹轴之间螺纹连接,它通过弹簧的形变作用,可推动夹板对硅片进行夹紧固定,并在限位板的作用下,提高硅片的稳定效果,在电动缸的作用下,可推动支撑板沿机架内壁上移,从而带动硅片与刮板接触,通过电机带动螺纹轴的正反转动,在螺纹连接的关系下,可推动刮板进行往复移动,并在第一挡环、第二挡环的作用下,进行有效限位处理,从而彻底完成硅片表面脱胶作业。

进一步的,所述夹板的表面对称固定安装有限位板,所述限位板与硅片之间滑动连接,便于在限位板的作用下,提高硅片的紧固效果。

进一步的,所述顶杆的表面滑动套接有弹簧,且弹簧的两端分别与夹板、固定板之间固定连接,便于在弹簧的作用下,使得夹板处于稳定。

进一步的,所述顶杆的表面固定安装有限位环,且限位环为橡胶材质,便于在限位环的作用下,可对顶杆进行限位。

进一步的,所述螺纹轴的表面对称固定安装有第一挡环、第二挡环,且第二挡环与刮板之间滑动连接,便于在第一挡环、第二挡环的作用下,可对刮板进行限位处理。

相比于现有技术,本实用新型的优点在于:

(1)本方案通过弹簧的形变作用,可推动夹板对硅片进行夹紧固定,并在限位板的作用下,提高硅片的稳定效果,在电动缸的作用下,可推动支撑板沿机架内壁上移,从而带动硅片与刮板接触,通过电机带动螺纹轴的正反转动,在螺纹连接的关系下,可推动刮板进行往复移动,并在第一挡环、第二挡环的作用下,进行有效限位处理,从而彻底完成硅片表面脱胶作业。

(2)夹板的表面对称固定安装有限位板,限位板与硅片之间滑动连接,便于在限位板的作用下,提高硅片的紧固效果。

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