[实用新型]一种硅片生产用脱胶机内转运装置有效
| 申请号： | 202121415733.3 | 申请日： | 2021-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN214956810U | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 叶挺宁 | 申请（专利权）人： | 中赣新能源股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683 |
| 代理公司： | 温州名创知识产权代理有限公司 33258 | 代理人： | 程嘉炜 |
| 地址： | 335000 江*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 生产 脱胶 转运 装置 | ||
1.一种硅片生产用脱胶机内转运装置，包括机架(1)与刮板(2)，其特征在于：所述机架(1)的表面对称固定安装有电动缸(3)，所述电动缸(3)的表面固定安装有支撑板(4)，所述支撑板(4)的表面放置有硅片(5)，所述支撑板(4)的表面对称固定安装有固定板(6)，所述固定板(6)的表面对称设有滑孔(7)，所述滑孔(7)的内壁滑动安装有顶杆(8)，所述顶杆(8)的表面固定安装有夹板(9)，所述夹板(9)与硅片(5)之间滑动连接，所述机架(1)的表面对称设有圆孔(13)，所述圆孔(13)的内壁通过轴承固定安装有螺纹轴(14)，所述螺纹轴(14)的表面固定安装有电机(15)，所述刮板(2)的表面对称设有螺纹孔(16)，所述螺纹孔(16)与螺纹轴(14)之间螺纹连接。
2.根据权利要求1所述的一种硅片生产用脱胶机内转运装置，其特征在于：所述夹板(9)的表面对称固定安装有限位板(10)，所述限位板(10)与硅片(5)之间滑动连接。
3.根据权利要求1所述的一种硅片生产用脱胶机内转运装置，其特征在于：所述顶杆(8)的表面滑动套接有弹簧(11)，且弹簧(11)的两端分别与夹板(9)、固定板(6)之间固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种硅片生产用脱胶机内转运装置，其特征在于：所述顶杆(8)的表面固定安装有限位环(12)，且限位环(12)为橡胶材质。
5.根据权利要求1所述的一种硅片生产用脱胶机内转运装置，其特征在于：所述螺纹轴(14)的表面对称固定安装有第一挡环(17)、第二挡环(18)，且第二挡环(18)与刮板(2)之间滑动连接。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
