[实用新型]一种MOCVD加热组件有效
申请号: | 202121413564.X | 申请日: | 2021-06-24 |
公开(公告)号: | CN215103543U | 公开(公告)日: | 2021-12-10 |
发明(设计)人: | 陈福鸽;张莹莹;付立伟;杨亚杰 | 申请(专利权)人: | 安泰科技股份有限公司;安泰天龙钨钼科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/46 | 分类号: | C23C16/46 |
代理公司: | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人: | 刘春成 |
地址: | 100081 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型提供一种MOCVD加热组件,涉及加热器材领域,包括:加热片,所述加热片包含加热部和两个连接部,两个所述连接部分别连接于所述加热部的两端,所述连接部与所述加热部之间圆滑过渡;两个电极引脚,两个所述电极引脚分别与两个所述连接部连接;固定机构,所述固定机构能够将所述连接部固定于所述电极引脚上;其中,所述加热部围成具有豁口的圆筒形结构,所述连接部为矩形结构,本实用新型公开一种MOCVD加热组件,避免了加热片出现局部的温度囤积区域,提高了加热效率,延长了加热片的使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 一种 mocvd 加热 组件 | ||
【主权项】:
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的