[实用新型]一种MOCVD加热组件

说明书

本实用新型提供一种MOCVD加热组件，涉及加热器材领域，包括：加热片，所述加热片包含加热部和两个连接部，两个所述连接部分别连接于所述加热部的两端，所述连接部与所述加热部之间圆滑过渡；两个电极引脚，两个所述电极引脚分别与两个所述连接部连接；固定机构，所述固定机构能够将所述连接部固定于所述电极引脚上；其中，所述加热部围成具有豁口的圆筒形结构，所述连接部为矩形结构，本实用新型公开一种MOCVD加热组件，避免了加热片出现局部的温度囤积区域，提高了加热效率，延长了加热片的使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及加热器材领域，特别涉及一种MOCVD加热组件。

背景技术

现有技术中的MOCVD加热组件，加热片上有多处折弯区域，需要采用机械折弯，加工效率慢；加热片在折弯过程中容易对加热片表面产生损伤，并且现有的加热片折弯半径较小，折弯半径一般为壁厚的1.5～2倍之间，在使用过程中容易在折弯区域出现熔断、烧蚀等问题；其次，现有的加热组件中，加热片存在U形区域，U形区域容易导致热量聚集，在此处容易出现相对于加热片其它区域的高温区域，容易导致加热片因温度过高，在此处区域熔断。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种MOCVD加热组件，提高了发热效率，延长使用寿命。

为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种MOCVD加热组件，包括：加热片，所述加热片包含加热部和两个连接部，两个所述连接部分别连接于所述加热部的两端，所述连接部与所述加热部之间圆滑过渡；两个电极引脚，两个所述电极引脚分别与两个所述连接部连接；固定机构，所述固定机构能够将所述连接部固定于所述电极引脚上；其中，所述加热部围成具有豁口的圆筒形结构，所述连接部为矩形结构。

进一步地，在上述的一种MOCVD加热组件中，所述电极引脚包括引脚部和固定部，所述固定部的一端与所述连接部连接，所述固定部的另一端与所述引脚部连接。

进一步地，在上述的一种MOCVD加热组件中，所述固定机构包括压板和螺钉，所述连接部位于所述压板与所述固定部之间，所述压板、连接部和所述固定部通过所述螺钉固定。

进一步地，在上述的一种MOCVD加热组件中，所述加热部外表面的上端的两个顶点之间的连线为直线AB，所述连接部的侧壁与直线AB相垂直。

进一步地，在上述的一种MOCVD加热组件中，两个所述连接部的靠近所述加热部的一侧壁位于同一平面。

进一步地，在上述的一种MOCVD加热组件中，所述加热片还包含折弯部，所述折弯部位于所述加热部和所述连接部之间，所述折弯部用于连接所述加热部和所述连接部，所述折弯部为弧形结构，从而使所述加热部与所述连接部之间圆滑过渡，所述折弯部的截面的弧度大于等于π/2。

进一步地，在上述的一种MOCVD加热组件中，所述连接部的宽度和所述折弯部的宽度均大于所述加热部的宽度。

进一步地，在上述的一种MOCVD加热组件中，所述折弯部的半径至少为所述折弯部的厚度的三倍。

进一步地，在上述的一种MOCVD加热组件中，所述加热片的边缘处均为圆弧过渡。

进一步地，在上述的一种MOCVD加热组件中，所述加热片为铼片，所述电极引脚的材质为钨、钼或钼合金中的一种。

分析可知，本实用新型公开一种MOCVD加热组件，避免了加热片出现局部的温度囤积区域，提高了加热效率，延长了加热片的使用寿命。

附图说明

构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。其中：

图1本实用新型一实施例的结构立体示意图；

图2本实用新型一实施例的结构侧视示意图；