[实用新型]一种MOCVD加热组件

权利要求书

1.一种MOCVD加热组件，其特征在于，包括：

加热片，所述加热片包含加热部和两个连接部，两个所述连接部分别连接于所述加热部的两端，所述连接部与所述加热部之间圆滑过渡；

两个电极引脚，两个所述电极引脚分别与两个所述连接部连接；

固定机构，所述固定机构能够将所述连接部固定于所述电极引脚上；

其中，所述加热部围成具有豁口的圆筒形结构，所述连接部为矩形结构。

2.根据权利要求1所述的一种MOCVD加热组件，其特征在于，所述电极引脚包括引脚部和固定部，所述固定部的一端与所述连接部连接，所述固定部的另一端与所述引脚部连接。

3.根据权利要求2所述的一种MOCVD加热组件，其特征在于，所述固定机构包括压板和螺钉，所述连接部位于所述压板与所述固定部之间，所述压板、连接部和所述固定部通过所述螺钉固定。

4.根据权利要求1所述的一种MOCVD加热组件，其特征在于，所述加热部外表面的上端的两个顶点之间的连线为直线AB，所述连接部的侧壁与直线AB相垂直。

5.根据权利要求1所述的一种MOCVD加热组件，其特征在于，两个所述连接部的靠近所述加热部的一侧壁位于同一平面。

6.根据权利要求4或5所述的一种MOCVD加热组件，其特征在于，所述加热片还包含折弯部，所述折弯部位于所述加热部和所述连接部之间，所述折弯部用于连接所述加热部和所述连接部，所述折弯部为弧形结构，从而使所述加热部与所述连接部之间圆滑过渡，所述折弯部的截面的弧度大于等于π/2。

7.根据权利要求6所述的一种MOCVD加热组件，其特征在于，所述连接部的宽度和所述折弯部的宽度均大于所述加热部的宽度。

8.根据权利要求6所述的一种MOCVD加热组件，其特征在于，所述折弯部的半径至少为所述折弯部的厚度的三倍。

9.根据权利要求1所述的一种MOCVD加热组件，其特征在于，所述加热片的边缘处均为圆弧过渡。

10.根据权利要求1所述的一种MOCVD加热组件，其特征在于，所述加热片为铼片，所述电极引脚的材质为钨、钼或钼合金中的一种。