[实用新型]一种晶圆片抛光夹具有效
| 申请号： | 202121405107.6 | 申请日： | 2021-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN215357930U | 公开（公告）日： | 2021-12-31 |
| 发明（设计）人： | 陈峰;洪章源 | 申请（专利权）人： | 厦门陆远科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B41/06 | 分类号： | B24B41/06;B24B29/02 |
| 代理公司： | 厦门律嘉知识产权代理事务所(普通合伙) 35225 | 代理人： | 李增进 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市厦门火炬高新区(翔安)产*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆片抛光夹具，包括圆形的盘体，所述盘体的外侧面上设置有轮齿，盘体上沿其圆周方向均匀开设有若干个用于放置晶圆片的放置孔以及若干个可供抛光液流通的排液孔，所述的放置孔与排液孔均贯通盘体的上下表面，所述放置孔的内侧套设有环状可拆卸的保持环，所述保持环的内侧面与晶圆片外侧壁面相抵。本实用新型在放置孔内侧设置可拆卸的保持环，通过拆卸更换不同厚度规格的保持环来改变夹具厚度，能够更好地适应不同厚度的晶圆片加工情况，夹具的适应性较好，而且，当保持环的厚度大于盘体厚度时，盘体不易受到磨损，保持环磨损到一定程度后，可直接拆卸更换。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆片 抛光 夹具 | ||
【主权项】：
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