[实用新型]一种晶圆片抛光夹具有效
| 申请号： | 202121405107.6 | 申请日： | 2021-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN215357930U | 公开（公告）日： | 2021-12-31 |
| 发明（设计）人： | 陈峰;洪章源 | 申请（专利权）人： | 厦门陆远科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B41/06 | 分类号： | B24B41/06;B24B29/02 |
| 代理公司： | 厦门律嘉知识产权代理事务所(普通合伙) 35225 | 代理人： | 李增进 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市厦门火炬高新区(翔安)产*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆片 抛光 夹具 | ||
1.一种晶圆片抛光夹具，其特征在于：包括圆形的盘体，所述盘体的外侧面上设置有轮齿，盘体上沿其圆周方向均匀开设有若干个用于放置晶圆片的放置孔以及若干个可供抛光液流通的排液孔，所述的放置孔与排液孔均贯通盘体的上下表面，所述放置孔的内侧套设有环状可拆卸的保持环，所述保持环的内侧面与晶圆片外侧壁面相抵。
2.如权利要求1所述的一种晶圆片抛光夹具，其特征在于：所述保持环的内侧设置有辅助固定晶圆片的直边或者圆弧状凸起。
3.如权利要求1所述的一种晶圆片抛光夹具，其特征在于：所述的保持环包括可分离的上保持环与下保持环，所述上保持环的底部与下保持环的顶部相互卡合。
4.如权利要求1所述的一种晶圆片抛光夹具，其特征在于：所述盘体的中心处开设有贯穿盘体上下表面的中心孔。
5.如权利要求1所述的一种晶圆片抛光夹具，其特征在于：所述放置孔的横截面为圆形。
6.如权利要求1所述的一种晶圆片抛光夹具，其特征在于：所述放置孔的数量为3个或者4个。
7.如权利要求1所述的一种晶圆片抛光夹具，其特征在于：所述排液孔布设在任意相邻的两个放置孔之间的区域上，靠近盘体边缘处的排液孔的横截面呈T字形。
8.如权利要求1所述的一种晶圆片抛光夹具，其特征在于：还包括外圈盘以及太阳齿轮，所述的外圈盘内侧设置有轮齿，所述的太阳齿轮设置在外圈盘中心处，若干个盘体以太阳齿轮为中心，沿其圆周方向均匀排设并分别与外圈盘以及太阳齿轮相互啮合。
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