[实用新型]一种易清理防漏硅单晶炉排气管道结构有效
| 申请号： | 202121404921.6 | 申请日： | 2021-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN215828923U | 公开（公告）日： | 2022-02-15 |
| 发明（设计）人： | 徐永根;周波 | 申请（专利权）人： | 浙江晶阳机电股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人： | 王家蕾 |
| 地址： | 314413 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型属于单晶硅生产设备技术领域，具体涉及一种易清理防漏硅单晶炉排气管道结构，本实用新型包括三通连接管，具有主管与支管，主管上连接有延长管道；排气连接管，排气连接管对称设置在两个支管上，排气连接管包括弯形管、阀门管，弯型管竖直设置，弯形管下端与阀门管连接，阀门管与支管连接，弯形管弯部下方设有清理管道，清理管道下端面设有温度传感器，阀门管上方设有安全阀一；球阀，球阀设置在延长管道远离三通连接管一端的下方。本实用新型采用了Y型三通的形式，使生产时产生的氧化物能顺畅排出到清理口；温度传感器可在生产过程中通过温度的变化情况来检测是否有漏硅现象的发生，从而提高生产的安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清理 防漏 硅单晶炉 排气 管道 结构 | ||
【主权项】：
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