[实用新型]一种易清理防漏硅单晶炉排气管道结构

说明书

本实用新型属于单晶硅生产设备技术领域，具体涉及一种易清理防漏硅单晶炉排气管道结构，本实用新型包括三通连接管，具有主管与支管，主管上连接有延长管道；排气连接管，排气连接管对称设置在两个支管上，排气连接管包括弯形管、阀门管，弯型管竖直设置，弯形管下端与阀门管连接，阀门管与支管连接，弯形管弯部下方设有清理管道，清理管道下端面设有温度传感器，阀门管上方设有安全阀一；球阀，球阀设置在延长管道远离三通连接管一端的下方。本实用新型采用了Y型三通的形式，使生产时产生的氧化物能顺畅排出到清理口；温度传感器可在生产过程中通过温度的变化情况来检测是否有漏硅现象的发生，从而提高生产的安全性。

技术领域

本实用新型属于单晶硅生产设备技术领域，具体涉及一种易清理防漏硅单晶炉排气管道结构。

背景技术

单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。

排气管道是单晶炉的重要组成部分，其在单晶硅的生产过程中起着行成单晶炉内真空状态以及及时排放生产时产生的氧化物的作用。传统的排气管道含有水平直管部分，不利于生产过程中的氧化物的排放和清理，同时在清理管道处没有防漏硅装置，使得无法判断生产过程中是否有漏硅现象。

综上所述，为解决现有的技术问题，本实用新型设计了一种结构简单、易清理防漏硅单晶炉排气管道结构。

实用新型内容

本实用新型为解决现有的技术问题，设计了一种结构简单、易清理防漏硅单晶炉排气管道结构。

本实用新型的目的可通过以下技术方案来实现：一种易清理防漏硅单晶炉排气管道结构，包括：三通连接管，具有主管与支管，所述主管上连接有延长管道；排气连接管，所述排气连接管对称设置在两个支管上，所述排气连接管包括弯形管、阀门管，所述弯型管竖直设置，所述弯形管下端与阀门管连接，所述阀门管与支管连接，所述弯形管弯部下方设有清理管道，所述清理管道下端面设有温度传感器，所述阀门管上方设有安全阀一；球阀，所述球阀设置在延长管道远离三通连接管一端的下方。

进一步的改进，所述延长管道远离三通连接管的一端设有安全阀二。

进一步的改进，所述弯形管上端套设有冷却套管，所述冷却套管侧面设有连接头。

进一步的改进，所述弯形管与阀门管之间设有波纹管。

进一步的改进，所述球阀传动连接有电机。

与现有技术相比，本实用新型结构设置合理：1、相对于传统的排气管道而言，采用了Y型三通的形式，使得生产时产生的氧化物能顺畅地排出到清理口；2、温度传感器可在生产过程中通过温度的变化情况来检测是否有漏硅现象的发生，从而提高生产的安全性。

附图说明

图1为本单晶炉排气管道结构整体示意图；

图2为弯形管示意图；

图中：1-三通连接管，11-主管，12-支管，13-延长管道，131-安全阀二，2-排气连接管，21弯形管-，211-清理管道，212-温度传感器，213-冷却套管，214-连接头，22-阀门管，221-安全阀一，3-球阀，31-电机。

具体实施方式

下面结合实施例，对本实用新型的技术方案作进一步的改进阐述。在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。