[实用新型]一种易清理防漏硅单晶炉排气管道结构

权利要求书

1.一种易清理防漏硅单晶炉排气管道结构，其特征在于，包括：

三通连接管，具有主管与支管，所述主管上连接有延长管道；

排气连接管，所述排气连接管对称设置在两个支管上，所述排气连接管包括弯形管、阀门管，所述弯形管竖直设置，所述弯形管下端与阀门管连接，所述阀门管与支管连接，所述弯形管弯部下方设有清理管道，所述清理管道下端面设有温度传感器，所述阀门管上方设有安全阀一；

球阀，所述球阀设置在延长管道远离三通连接管一端的下方。

2.根据权利要求1所述的一种易清理防漏硅单晶炉排气管道结构，其特征在于，所述延长管道远离三通连接管的一端设有安全阀二。

3.根据权利要求1所述的一种易清理防漏硅单晶炉排气管道结构，其特征在于，所述弯形管上端套设有冷却套管，所述冷却套管侧面设有连接头。

4.根据权利要求1所述的一种易清理防漏硅单晶炉排气管道结构，其特征在于，所述弯形管与阀门管之间设有波纹管。

5.根据权利要求1所述的一种易清理防漏硅单晶炉排气管道结构，其特征在于，所述球阀传动连接有电机。