[实用新型]一种回收光刻胶过滤装置

摘要

本实用新型公开了一种回收光刻胶过滤装置，包括：过滤箱，所述过滤箱的内部两侧设置有滑动槽且滑动槽的内部设置有滑动杆，所述滑动杆的表面设置有支撑柱且支撑柱套接在滑动杆表面，所述支撑柱的上部设置有过滤板且过滤板设置有若干组，所述过滤箱的内底部设置有收集盒，所述过滤箱的顶部设置有盖体且盖体的下部设置有嵌合块。本实用新型通过转动固定套管可以使螺纹柱缩紧，从而对连接管进行夹持，保证了连接管的稳定性，在连接管的另一端设置有增压器，增压器通过连接管对过滤箱内进行增压，使回收光刻胶通过过滤板进行过滤，并通过底部的收集盒进行收集，在过滤箱的侧面设置有排气口，方便排气。