[实用新型]一种回收光刻胶过滤装置

权利要求书

1.一种回收光刻胶过滤装置，其特征在于：包括：过滤箱（1），所述过滤箱（1）的内部两侧设置有滑动槽（2）且滑动槽（2）的内部设置有滑动杆（3），所述滑动杆（3）的表面设置有支撑柱（5）且支撑柱（5）套接在滑动杆（3）表面，所述支撑柱（5）的上部设置有过滤板（4）且过滤板（4）设置有若干组，所述过滤箱（1）的内底部设置有收集盒（7），所述过滤箱（1）的顶部设置有盖体（8）且盖体（8）的下部设置有嵌合块（9），所述嵌合块（9）与过滤箱（1）之间相互嵌合，所述盖体（8）的顶部设置有固定座（11）且固定座（11）的上部设置有螺纹柱（12），所述螺纹柱（12）的表面设置有固定套管（13）且固定套管（13）与螺纹柱（12）之间螺纹连接，所述螺纹柱（12）的内部设置有连接管（14）且连接管（14）的另一端设置有增压器（15），所述过滤箱（1）的侧面设置有排气口（16）且排气口（16）与过滤箱（1）之间相连通。

2.根据权利要求1所述的一种回收光刻胶过滤装置，其特征在于：所述滑动杆（3）的表面设置有若干组缓冲柱（6）且缓冲柱（6）位于若干组过滤板（4）之间，所述过滤板（4）通过缓冲柱（6）与支撑柱（5）之间伸缩连接。

3.根据权利要求1所述的一种回收光刻胶过滤装置，其特征在于：所述嵌合块（9）的表面设置有密封圈（10）且密封圈（10）套接在嵌合块（9）表面并与过滤箱（1）内壁相互接触。

4.根据权利要求1所述的一种回收光刻胶过滤装置，其特征在于：所述排气口（16）的内部设置有出气孔（17）且出气孔（17）侧面设置有球体（18），所述球体（18）的侧面设置有弹簧柱（19）且球体（18）通过弹簧柱（19）与出气口之间伸缩连接。

5.根据权利要求1所述的一种回收光刻胶过滤装置，其特征在于：若干组所述过滤板（4）的滤孔孔径由上到下依次递减。