[实用新型]一种蒸镀机的掩膜板基台和蒸镀机有效
| 申请号： | 202121396785.0 | 申请日： | 2021-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN214937767U | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 宫鹏 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孔凡红 |
| 地址： | 201506 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例公开了一种蒸镀机的掩膜板基台和蒸镀机。该蒸镀机的掩膜板基台包括：控制单元；中空区域；边框区域，边框区域围绕中空区域设置，用于承托掩膜板的边沿，边框区域包括：至少一个升降装置，升降装置包括：开孔，开孔设置于边框区域与掩膜板的边沿的接触面；升降支撑单元，升降支撑单元至少部分容置于开孔内；升降动作模块，升降动作模块连接升降支撑单元，升降动作模块的被控端连接控制单元。本实用新型实施例通过升降装置的调节，减小掩膜板与位于掩膜板上方的基板边缘间的缝隙，使得掩膜板与基板平整贴合。因此大大减小了掩膜板的开孔和基板待蒸镀区域的偏移量。大大降低了量产产能的浪费和有机材料的浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸镀机 掩膜板基台 | ||
【主权项】：
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