[实用新型]一种蒸镀机的掩膜板基台和蒸镀机

说明书

本实用新型实施例公开了一种蒸镀机的掩膜板基台和蒸镀机。该蒸镀机的掩膜板基台包括：控制单元；中空区域；边框区域，边框区域围绕中空区域设置，用于承托掩膜板的边沿，边框区域包括：至少一个升降装置，升降装置包括：开孔，开孔设置于边框区域与掩膜板的边沿的接触面；升降支撑单元，升降支撑单元至少部分容置于开孔内；升降动作模块，升降动作模块连接升降支撑单元，升降动作模块的被控端连接控制单元。本实用新型实施例通过升降装置的调节，减小掩膜板与位于掩膜板上方的基板边缘间的缝隙，使得掩膜板与基板平整贴合。因此大大减小了掩膜板的开孔和基板待蒸镀区域的偏移量。大大降低了量产产能的浪费和有机材料的浪费。

技术领域

本实用新型实施例涉及蒸镀技术，尤其涉及一种蒸镀机的掩膜板基台。

背景技术

蒸镀机是显示面板制造过程中的重要设备，其性能直接影响生产出的显示面板质量。因此随着显示面板的发展，蒸镀机越来越受到人们的关注。

现有蒸镀机的不同制程腔体和不同掩膜板之间的匹配较差，由此导致掩膜板和待蒸镀的基板不能紧密贴合，进而导致掩膜板的开孔和基板待蒸镀区域存在偏移量，二者不能很好地嵌合。

解决上述问题的通常方式只能通过实际镀膜，用荧光光致发光量测系统量测不同位置的镀膜偏移量。如果在实际生产中发现镀膜偏移问题，也就是混色，只能将蒸镀腔体降温开腔来处理，会浪费大量的量产产能和有机材料。

实用新型内容

本实用新型提供一种蒸镀机的掩膜板基台和蒸镀机，用以对齐掩膜板的开孔和基板待蒸镀区域，大大降低了量产产能的浪费和有机材料的浪费。

第一方面，本实用新型实施例提供了一种蒸镀机的掩膜板基台，所述掩膜板基台包括：

控制单元；

中空区域；

边框区域，所述边框区域围绕所述中空区域设置，用于承托掩膜板的边沿，所述边框区域包括：

至少一个升降装置，所述升降装置包括：

开孔，所述开孔设置于所述边框区域与所述掩膜板的边沿的接触面；

升降支撑单元，所述升降支撑单元至少部分容置于所述开孔内；

升降动作模块，所述升降动作模块连接所述升降支撑单元，所述升降动作模块的被控端连接所述控制单元。

可选的，所述升降支撑单元还包括压力感知器，所述压力感知器的输入输出端连接所述控制单元。

可选的，所述边框区域包括至少三个边框，每个所述边框包括至少一个所述升降装置。

可选的，所述边框区域包括四个所述边框。

可选的，所述边框区域包括四个边框，四个所述边框中相对的两个所述边框设置有所述升降装置。

可选的，设置有所述升降装置的所述边框设置有多个所述升降装置，所述升降装置沿所在所述边框的延伸方向分布。

可选的，设置有所述升降装置的所述边框上的所述升降装置，沿所在所述边框的延伸方向呈双排分布。

可选的，设置有所述升降装置的所述边框上的所述升降装置，沿所在所述边框的延伸方向等间隔分布。

可选的，所述边框区域沿轴对称，所述轴位于所述边框区域所在平面内，所述边框区域中相对的两个所述边框上的多个所述升降装置沿所述轴对称。

第二方面，本实用新型实施例还提供了一种蒸镀机，使用上述任一蒸镀机的掩膜板基台。