[实用新型]一种蒸镀机的掩膜板基台和蒸镀机有效
| 申请号： | 202121396785.0 | 申请日： | 2021-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN214937767U | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 宫鹏 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孔凡红 |
| 地址： | 201506 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 蒸镀机 掩膜板基台 | ||
1.一种蒸镀机的掩膜板基台，其特征在于，所述掩膜板基台包括：
控制单元；
中空区域；
边框区域，所述边框区域围绕所述中空区域设置，用于承托掩膜板的边沿，所述边框区域包括：
至少一个升降装置，所述升降装置包括：
开孔，所述开孔设置于所述边框区域与所述掩膜板的边沿的接触面；
升降支撑单元，所述升降支撑单元至少部分容置于所述开孔内；
升降动作模块，所述升降动作模块连接所述升降支撑单元，所述升降动作模块的被控端连接所述控制单元。
2.根据权利要求1所述的蒸镀机的掩膜板基台，其特征在于，所述升降支撑单元还包括压力感知器，所述压力感知器的输入输出端连接所述控制单元。
3.根据权利要求1所述的蒸镀机的掩膜板基台，其特征在于，所述边框区域包括至少三个边框，每个所述边框包括至少一个所述升降装置。
4.根据权利要求3所述的蒸镀机的掩膜板基台，其特征在于，所述边框区域包括四个所述边框。
5.根据权利要求1所述的蒸镀机的掩膜板基台，其特征在于，所述边框区域包括四个边框，四个所述边框中相对的两个所述边框设置有所述升降装置。
6.根据权利要求3-5任一所述的蒸镀机的掩膜板基台，其特征在于，设置有所述升降装置的所述边框设置有多个所述升降装置，所述升降装置沿所在所述边框的延伸方向分布。
7.根据权利要求6所述的蒸镀机的掩膜板基台，其特征在于，设置有所述升降装置的所述边框上的所述升降装置，沿所在所述边框的延伸方向呈双排分布。
8.根据权利要求6所述的蒸镀机的掩膜板基台，其特征在于，设置有所述升降装置的所述边框上的所述升降装置，沿所在所述边框的延伸方向等间隔分布。
9.根据权利要求6所述的蒸镀机的掩膜板基台，其特征在于，所述边框区域沿轴对称，所述轴位于所述边框区域所在平面内，所述边框区域中相对的两个所述边框上的多个所述升降装置沿所述轴对称。
10.一种蒸镀机，其特征在于，使用权利要求1-9中任一所述的蒸镀机的掩膜板基台。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海和辉光电股份有限公司，未经上海和辉光电股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202121396785.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种路面接缝清理机构
- 下一篇：一种气管漏气检测设备
- 同类专利
- 专利分类
