[实用新型]一种芯片研磨机的研磨盘冷却装置有效
| 申请号： | 202121394816.9 | 申请日： | 2021-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN215240223U | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 赵亮;曾庆华;曾庆明 | 申请（专利权）人： | 安徽格楠机械有限公司 |
| 主分类号： | B24B55/03 | 分类号： | B24B55/03;B24B27/00;B24B7/22;B24B37/34;B24B37/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 241300 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种芯片研磨机的研磨盘冷却装置，包括箱体、底座、从动轴、下托体、下研磨盘、输液泵一、电机、顶板和上研磨盘，其特征在于：所述的箱体内底部设置有冷却液箱，所述的底座设置在箱体顶部，所述的立板顶部设置有顶板，所述的从动轴竖向穿过轴承，所述的下托体通过连接环与从动轴连接，所述的下研磨盘安装在下托体上，所述的输液泵一设置在箱体内底部，所述的电机设置在底座底部，所述的液压缸设置在顶板上。本实用新型将下托体上的出液管底端伸入导流槽内，下研磨盘的冷却液从出液管排出，冷却液流入导流槽内，并从回流管快速流入到冷却液箱内，避免冷却液在排污槽内产生聚集，提高芯片研磨机在工作过程中的平稳性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 芯片 研磨机 研磨 冷却 装置 | ||
【主权项】：
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