[实用新型]一种芯片研磨机的研磨盘冷却装置

权利要求书

1.一种芯片研磨机的研磨盘冷却装置，包括箱体、底座、从动轴、下托体、下研磨盘、输液泵一、电机、顶板和上研磨盘，其特征在于：所述的箱体内底部设置有冷却液箱，所述的底座设置在箱体顶部，在底座上设置有立板、排污槽，在底座上设置有轴承，在底座底部设置有回流管，并将回流管与冷却液箱连接，所述的立板顶部设置有顶板，在顶板上设置有输液泵二，并在输液泵二上设置有输液管，所述的从动轴竖向穿过轴承，并在从动轴底部设置有从动轮，所述的下托体通过连接环与从动轴连接，并在下托体上设置有出液管，所述的下研磨盘安装在下托体上，所述的输液泵一设置在箱体内底部，将输液泵一通过连接管与冷却液箱连接，在输液泵一上设置有进液管，并将进液管插入从动轴内，所述的电机设置在底座底部，在电机上设置有传动轴，在传动轴上设置有主动轮，并将主动轮通过皮带与从动轮连接，液压缸设置在顶板上，在液压缸上设置有活塞杆，并将活塞杆从顶板下方竖向穿出，所述的上研磨盘通过安装环安装在活塞杆上。

2.根据权利要求1所述的芯片研磨机的研磨盘冷却装置，其特征在于：所述的底座内垂直设置有挡环，在挡环一侧的底座内设置有排污管，将排污管底端从箱体侧壁穿出；在挡环另一侧的底座上设置有导流槽，并将导流槽与回流管连通。

3.根据权利要求1所述的芯片研磨机的研磨盘冷却装置，其特征在于：所述的从动轴设置为中空结构，并在从动轴与进液管之间设置有密封环。

4.根据权利要求1所述的芯片研磨机的研磨盘冷却装置，其特征在于：所述的下托体上的出液管底端伸入导流槽内。

5.根据权利要求1或4所述的芯片研磨机的研磨盘冷却装置，其特征在于：所述的下托体内设置有隔板。

6.根据权利要求1所述的芯片研磨机的研磨盘冷却装置，其特征在于：所述的下研磨盘设置为可在下托体上更换的结构；所述的上研磨盘通过安装环设置为可在活塞杆上更换的结构。