[实用新型]一种芯片研磨机的研磨盘冷却装置

说明书

本实用新型公开了一种芯片研磨机的研磨盘冷却装置，包括箱体、底座、从动轴、下托体、下研磨盘、输液泵一、电机、顶板和上研磨盘，其特征在于：所述的箱体内底部设置有冷却液箱，所述的底座设置在箱体顶部，所述的立板顶部设置有顶板，所述的从动轴竖向穿过轴承，所述的下托体通过连接环与从动轴连接，所述的下研磨盘安装在下托体上，所述的输液泵一设置在箱体内底部，所述的电机设置在底座底部，所述的液压缸设置在顶板上。本实用新型将下托体上的出液管底端伸入导流槽内，下研磨盘的冷却液从出液管排出，冷却液流入导流槽内，并从回流管快速流入到冷却液箱内，避免冷却液在排污槽内产生聚集，提高芯片研磨机在工作过程中的平稳性。

技术领域

本实用新型涉及芯片研磨机技术领域，具体是一种芯片研磨机的研磨盘冷却装置。

背景技术

研磨机作为一种抛光、磨光设备在机械加工中广泛使用，在一些机械零件，尤其是精密机械零件的加工过程中，对工件表面的要求比较高，需要对工件表面进行研磨，在研磨机工作过程中，为了避免热量对研磨机造成损坏，需要对研磨机进行冷却降温，如申请号为201720538461.3的专利公布了一种研磨机冷却液循环系统，其解决了冷却液含渣较多导致研磨产品精度不高的问题，但其存在着冷却液利用效率不高、冷却液浪费多、研磨盘冷却效果不佳的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对现有研磨机冷却装置存在的冷却液利用效率不高、冷却液浪费多、研磨盘冷却效果不佳的问题，提供一种结构设计合理、冷却液利用效率高、冷却液浪费少、研磨盘冷却效果好的芯片研磨机的研磨盘冷却装置。

本实用新型解决的技术问题所采取的技术方案为：

一种芯片研磨机的研磨盘冷却装置，包括箱体、底座、从动轴、下托体、下研磨盘、输液泵一、电机、顶板和上研磨盘，其特征在于：所述的箱体内底部设置有冷却液箱，所述的底座设置在箱体顶部，在底座上设置有立板、排污槽，在底座上设置有轴承，在底座底部设置有回流管，并将回流管与冷却液箱连接，所述的立板顶部设置有顶板，在顶板上设置有输液泵二，并在输液泵二上设置有输液管，所述的从动轴竖向穿过轴承，并在从动轴底部设置有从动轮，所述的下托体通过连接环与从动轴连接，并在下托体上设置有出液管，所述的下研磨盘安装在下托体上，所述的输液泵一设置在箱体内底部，将输液泵一通过连接管与冷却液箱连接，在输液泵一上设置有进液管，并将进液管插入从动轴内，输液泵一通过连接管、进液管将冷却液输送到中空的从动轴内，冷却液进入到下托体内，在下托体内流动吸收下研磨盘工作过程中产生的热量，对下研磨盘进行降温处理，避免下研磨盘的温度过高对研磨过程中的芯片造成损伤，提高芯片的研磨质量，下托体内的冷却液吸收热量后从出液管排出到导流槽内，并经过回液管回来到冷却液箱内，实现了冷却液的循环使用，减少了冷却液的浪费，所述的电机设置在底座底部，在电机上设置有传动轴，在传动轴上设置有主动轮，并将主动轮通过皮带与从动轮连接，电机带动传动轴及传动轴上的主动轮旋转，主动轮通过皮带带动从动轮旋转，进而带动从动轴旋转，为下托体及下研磨盘的旋转提供动力，使下研磨盘对芯片底部进行研磨处理，液压缸设置在顶板上，在液压缸上设置有活塞杆，并将活塞杆从顶板下方竖向穿出，所述的上研磨盘通过安装环安装在活塞杆上，下研磨盘带动芯片转动，上研磨盘在液压缸、活塞杆的作用下与芯片顶部接触，下研磨盘带动芯片转动，使上研磨盘对芯片顶部进行研磨处理，提高了芯片的研磨效率及研磨质量。

优选的，所述的底座内垂直设置有挡环，在挡环一侧的底座内设置有排污管，将排污管底端从箱体侧壁穿出；在挡环另一侧的底座上设置有导流槽，并将导流槽与回流管连通，通过挡环能够将底座内的排污槽分隔成两部分，研磨液从下研磨盘的边缘流到底座的排污槽内，并从排污管快速排出，便于对使用后的研磨液进行收集处理，使处理后的研磨液能够循环使用，减少了研磨液的浪费；下研磨盘的冷却液从出液管排出，冷却液流入导流槽内，并从回流管快速流入到冷却液箱内，避免研磨液与冷却液发生接触，提高研磨机研磨液喷洒、研磨盘冷却过程中的稳定性。