[实用新型]一种磷化铟单晶装载出炉夹具有效
| 申请号： | 202121390893.7 | 申请日： | 2021-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN215517754U | 公开（公告）日： | 2022-01-14 |
| 发明（设计）人： | 胡昌勇;李勇 | 申请（专利权）人： | 威科赛乐微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/40 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 黄宗波 |
| 地址： | 404000 重庆市*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本实用新型属于半导体生产治具技术领域，具体涉及一种磷化铟单晶装载出炉夹具，包括提拉环、摩擦组件和驱动组件，摩擦组件包括安装板和多块摩擦块，多块摩擦块形成摩擦柱体，提拉环底部一体成型有连接柱，连接柱与安装板固定连接，连接柱内开设有通孔，通孔贯穿连接柱、提拉环和第一螺纹柱，驱动组件包括正锥体和驱动杆，驱动杆一体成型于正锥体的顶部，驱动杆插设于通孔内，摩擦柱体底部于正锥体处开设有锥形槽，锥形槽的锥度与正锥体的锥度一致，正锥体的长度大于锥形槽的长度。解决现有技术中由于石英管和炉膛管之间几乎无空隙，无法通过夹具从外部接触到石英管，导致石英管的装入和取出较为困难的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磷化 铟单晶 装载 出炉 夹具 | ||
【主权项】：
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