[实用新型]一种磷化铟单晶装载出炉夹具有效

专利信息
申请号: 202121390893.7 申请日: 2021-06-22
公开(公告)号: CN215517754U 公开(公告)日: 2022-01-14
发明(设计)人: 胡昌勇;李勇 申请(专利权)人: 威科赛乐微电子股份有限公司
主分类号: C30B35/00 分类号: C30B35/00;C30B29/40
代理公司: 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 代理人: 黄宗波
地址: 404000 重庆市*** 国省代码: 重庆;50
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摘要:
搜索关键词: 一种 磷化 铟单晶 装载 出炉 夹具
【权利要求书】:

1.一种磷化铟单晶装载出炉夹具,其特征在于:包括提拉环、摩擦组件和驱动组件,所述摩擦组件包括安装板和多块摩擦块,多块所述摩擦块活动安装于安装板底部,多块所述摩擦块形成摩擦柱体,所述提拉环底部一体成型有连接柱,所述连接柱底部一体成型有第一螺纹柱,所述安装板顶部设有连接台,所述连接台上开设有螺纹孔,所述螺纹孔贯穿安装板,所述第一螺纹柱螺纹连接于螺纹孔内,所述连接柱内开设有通孔,所述通孔贯穿连接柱、提拉环和第一螺纹柱,所述驱动组件包括正锥体和驱动杆,所述驱动杆一体成型于正锥体的顶部,所述驱动杆插设于通孔内,所述摩擦柱体底部于正锥体处开设有锥形槽,所述锥形槽的锥度与正锥体的锥度一致,所述正锥体的长度大于锥形槽的长度。

2.根据权利要求1所述的一种磷化铟单晶装载出炉夹具,其特征在于:所述摩擦块上由下至上开设有安装槽,所述安装槽内安装有螺钉,所述螺钉可在安装槽内水平移动,所述安装板上开设有多个固定孔,所述螺钉穿过摩擦块并插设于固定孔内,所述螺钉的顶部螺纹连接有第一固定螺栓。

3.根据权利要求2所述的一种磷化铟单晶装载出炉夹具,其特征在于:所述驱动杆的顶端一体成型有第二螺纹柱,所述第二螺纹柱顶端突出于提拉环外,所述第二螺纹柱的顶端螺纹连接有调节螺栓。

4.根据权利要求3所述的一种磷化铟单晶装载出炉夹具,其特征在于:所述第二螺纹柱顶部一体成型有凸柱,所述凸柱上套设有圆环,所述圆环的两侧均一体成型有拉杆,所述圆环顶部设有第二固定螺栓,所述第二固定螺栓与凸柱螺纹连接。

5.根据权利要求4所述的一种磷化铟单晶装载出炉夹具,其特征在于:所述正锥体底部一体成型有圆盘。

6.根据权利要求5所述的一种磷化铟单晶装载出炉夹具,其特征在于:所述连接台为连接螺栓,所述连接螺栓与安装板焊接。

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