[实用新型]一种磷化铟单晶装载出炉夹具

说明书

本实用新型属于半导体生产治具技术领域，具体涉及一种磷化铟单晶装载出炉夹具，包括提拉环、摩擦组件和驱动组件，摩擦组件包括安装板和多块摩擦块，多块摩擦块形成摩擦柱体，提拉环底部一体成型有连接柱，连接柱与安装板固定连接，连接柱内开设有通孔，通孔贯穿连接柱、提拉环和第一螺纹柱，驱动组件包括正锥体和驱动杆，驱动杆一体成型于正锥体的顶部，驱动杆插设于通孔内，摩擦柱体底部于正锥体处开设有锥形槽，锥形槽的锥度与正锥体的锥度一致，正锥体的长度大于锥形槽的长度。解决现有技术中由于石英管和炉膛管之间几乎无空隙，无法通过夹具从外部接触到石英管，导致石英管的装入和取出较为困难的问题。

技术领域

本实用新型属于半导体生产治具技术领域，尤其涉及一种磷化铟单晶装载出炉夹具。

背景技术

目前化合物半导体的生长大多都在环形的电加热炉内进行，电加热炉中的加热器呈圆筒状，为了保证炉膛内传热均匀，大多采用氧化铝粉或者其他保温材料填充，然后中间放置石英炉膛管或者莫来石炉膛管，将加热器内部形成一个可以放置石英管的空间。通过夹具可将石英管外壁夹住，并放入或取出炉膛管。

但为了保证径向温场的均匀性，以及减少石英管上部和下部之间的对流，石英管和炉膛管之间的空间要尽可能的小，几乎无空隙，无法通过夹具从外部接触到石英管，导致石英管的装入和取出较为困难。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的是提供一种磷化铟单晶装载出炉夹具，解决现有技术中由于石英管和炉膛管之间几乎无空隙，无法通过夹具从外部接触到石英管，导致石英管的装入和取出较为困难的问题。

本实用新型通过以下技术手段解决上述技术问题：

一种磷化铟单晶装载出炉夹具，包括提拉环、摩擦组件和驱动组件，所述摩擦组件包括安装板和多块摩擦块，多块所述摩擦块活动安装于安装板底部，多块所述摩擦块形成摩擦柱体，所述提拉环底部一体成型有连接柱，所述连接柱底部一体成型有第一螺纹柱，所述安装板顶部设有连接台，所述连接台上开设有螺纹孔，所述螺纹孔贯穿安装板，所述第一螺纹柱螺纹连接于螺纹孔内，所述连接柱内开设有通孔，所述通孔贯穿连接柱、提拉环和第一螺纹柱，所述驱动组件包括正锥体和驱动杆，所述驱动杆一体成型于正锥体的顶部，所述驱动杆插设于通孔内，所述摩擦柱体底部于正锥体处开设有锥形槽，所述锥形槽的锥度与正锥体的锥度一致，所述正锥体的长度大于锥形槽的长度。

进一步，所述摩擦块上由下至上开设有安装槽，所述安装槽内安装有螺钉，所述螺钉可在安装槽内水平移动，所述安装板上开设有多个固定孔，所述螺钉穿过摩擦块并插设于固定孔内，所述螺钉的顶部螺纹连接有第一固定螺栓。

进一步，所述驱动杆的顶端一体成型有第二螺纹柱，所述第二螺纹柱顶端突出于提拉环外，所述第二螺纹柱的顶端螺纹连接有调节螺栓。

进一步，所述第二螺纹柱顶部一体成型有凸柱，所述凸柱上套设有圆环，所述圆环的两侧均一体成型有拉杆，所述圆环顶部设有第二固定螺栓，所述第二固定螺栓与凸柱螺纹连接。

进一步，所述正锥体底部一体成型有圆盘。

进一步，所述连接台为连接螺栓，所述连接螺栓与安装板焊接。

本实用新型的有益效果：

本实用新型的一种磷化铟单晶装载出炉夹具，通过安装板上的多块摩擦块和底部的正锥体，通过拉动拉杆，使正锥体上移，即可带动多块摩擦块向远离轴向线的方向移动，从而使多块摩擦块均与石英管的内壁接触紧密，通过摩擦块与石英管之间的摩擦力，将石英管与摩擦块的位置固定，便于放入或者取出石英管。

附图说明

图1是本实用新型一种磷化铟单晶装载出炉夹具的结构示意图；

图2是本实用新型一种磷化铟单晶装载出炉夹具的拆分结构示意图；

图3是本实用新型一种磷化铟单晶装载出炉夹具的拆分剖面结构示意图。