[实用新型]切割盘装置有效
| 申请号： | 202121369189.3 | 申请日： | 2021-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN215920954U | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 方欣 | 申请（专利权）人： | 无锡华润安盛科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D5/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京博思佳知识产权代理有限公司 11415 | 代理人： | 张相钦 |
| 地址： | 214028 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供一种切割盘装置。所述切割盘装置包括切割盘底座及设于所述切割盘底座上的柔性切割盘；所述切割盘底座的远离所述柔性切割盘的表面形成有内凹的储气室，所述柔性切割盘设有气流通道，所述气流通道与所述储气室连通。上述切割盘装置中，通过在切割盘底座中设置储气室，有利于提升切割盘装置的真空储气能力、提高切割盘装置真空吸力的均匀性和稳定性，提高切割质量。 | ||
| 搜索关键词： | 切割 装置 | ||
【主权项】：
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