[实用新型]切割盘装置

权利要求书

1.一种切割盘装置，其特征在于，其包括切割盘底座及设于所述切割盘底座上的柔性切割盘；所述切割盘底座远离所述柔性切割盘的表面形成有内凹的储气室，所述柔性切割盘设有气流通道，所述气流通道与所述储气室连通。

2.如权利要求1所述的切割盘装置，其特征在于，所述柔性切割盘具有多个间隔的吸附单元，每一所述吸附单元包括多个气流通道，所述切割盘底座远离所述柔性切割盘的表面形成有与多个所述吸附单元分别一一对应的多个间隔的储气室。

3.如权利要求2所述的切割盘装置，其特征在于，所述切割盘装置还包括盖板，所述盖板具有多个让位区域，所述盖板盖于所述柔性切割盘之上，且所述柔性切割盘的所述吸附单元自所述让位区域凸出于所述盖板远离所述切割盘底座的一侧。

4.如权利要求3所述的切割盘装置，其特征在于，所述盖板可拆卸的组装于所述切割盘底座。

5.如权利要求4所的切割盘装置，其特征在于，所述盖板包括盖板主体及自所述盖板主体向所述切割盘底座一侧延伸的第一连接部，所述切割盘底座设有用于与所述第一连接部配合的第二连接部，所述盖板通过所述第一连接部与所述第二连接部的配合固定于所述切割盘底座。

6.如权利要求5所述的切割盘装置，其特征在于，所述第一连接部包括凸台结构，所述第二连接部包括能够与所述凸台结构配合的凹陷结构。

7.如权利要求6所述的切割盘装置，其特征在于，所述凸台结构朝向所述切割盘底座的一侧开设有第一安装孔，所述凹陷结构底部设有贯穿所述切割盘底座的第二安装孔，所述切割盘装置包括连接件，所述连接件穿设于所述第一安装孔和所述第二安装孔中。

8.如权利要求6所述的切割盘装置，其特征在在于，所述凸台结构的横截面呈矩形，所述凹陷结构的形状与所述凸台结构的形状一致。

9.如权利要求5所述的切割盘装置，其特征在于，所述盖板主体相对的两侧均匀设有多个第一连接部，所述切割盘底座相对的两侧均匀设有多个相应的第二连接部。

10.如权利要求1所述的切割盘装置，其特征在于，所述切割盘装置还包括抽真空装置，所述抽真空装置自所述储气室远离所述柔性切割盘的一侧与所述储气室连通。