[实用新型]一种晶圆激光蚀刻机

摘要

本实用新型公开了一种晶圆激光蚀刻机，涉及到激光蚀刻技术领域。包括：底座、位置控制机构、激光器、纵向电机、横向电机、激光器、升降电机、工作台。有益效果：通过设置纵向电机和横向电机，通过电机控制螺杆的转动进而通过整个位置控制机构和激光器的位置移动使得激光头射出的激光对晶圆的各个点进行激光蚀刻，通过电机的转动使得横向和纵向共同定位，使得激光头能够对晶圆的所有部位进行蚀刻的同时保证了蚀刻的精确度；通过设置升降电机，升降电机带动升降螺杆转动进而带动升降台升降，进而使得在激光蚀刻完成后升降台升高顶起加工完成后的晶圆使之高于工作台平面，使得晶圆便于取出进行下一步的加工。