[实用新型]一种晶圆激光蚀刻机

权利要求书

1.一种晶圆激光蚀刻机，包括：底座(1)、位置控制机构(2)、激光器(5)，其特征在于，所述底座(1)顶端四角设置有支撑柱(11)，所述支撑柱(11)顶端设置有操作台(12)，所述操作台(12)上设置有纵向限位槽(13)，所述位置控制机构(2)一端设置有支撑架(21)，所述支撑架(21)顶端设置有支撑横梁(22)，所述支撑横梁(22)顶端开设有横向限位槽(23)，所述位置控制机构(2)顶端开设有电机槽(24)，所述位置控制机构(2)底端设置有支撑块(25)，所述支撑块(25)中央开设有纵向螺纹孔(26)，所述底座(1)上方设置有纵向电机(3)，所述纵向电机(3)一端设置有纵向螺杆(31)，所述电机槽(24)内部设置有横向电机(4)，所述横向电机(4)一端设置有横向螺杆(41)，所述横向限位槽(23)内部设置有激光器(5)，所述激光器(5)顶端设置有限位板(51)，所述激光器(5)上开设有横向螺纹孔(52)，所述激光器底端设置有激光头(53)，所述激光头(53)下方设置有升降电机(6)，所述升降电机(6)顶端设置有升降螺杆(61)，所述升降螺杆(61)顶端设置有升降台(62)，所述操作台(12)顶端一端设置有工作台(7)，所述工作台(7)外侧设置有挡板(71)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆激光蚀刻机，其特征在于，所述纵向螺杆(31)外表面设置有外螺纹，所述纵向螺纹孔(26)内表面设置有与外螺纹相啮合的内螺纹，所述纵向电机(3)带动纵向螺杆(31)旋转，所述纵向螺杆(31)旋转带动位置控制机构(2)在纵向限位槽(13)内移动。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆激光蚀刻机，其特征在于，所述横向螺杆(41)外表面设置有外螺纹，所述横向螺纹孔(52)内表面设置有与外螺纹相啮合的内螺纹，所述横向电机(4)带动横向螺杆(41)旋转，所述横向螺杆(41)旋转带动激光器(5)在横向限位槽(23)内移动。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆激光蚀刻机，其特征在于，所述升降螺杆(61)外表面设置有外螺纹，所述升降台(62)内表面设置有与外螺纹相啮合的内螺纹，所述升降电机(6)带动升降螺杆(61)转动，所述升降螺杆(61)带动升降台(62)升降。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆激光蚀刻机，其特征在于，所述升降台(62)设置在工作台(7)中央，所述升降台(62)处于最低位置时顶端表面和工作台(7)顶端表面共面。