[实用新型]一种PVD托盘有效
| 申请号： | 202121329254.X | 申请日： | 2021-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN215163088U | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 赵锋;谷士斌;任明冲 | 申请（专利权）人： | 东方日升（常州）新能源有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;H01J37/32;H01L31/18 |
| 代理公司： | 南京中高专利代理有限公司 32333 | 代理人： | 祝进 |
| 地址： | 213200 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种PVD托盘，包括上导轨、侧挡板以及下挡板，上导轨、侧挡板以及下挡板围合成滑动区以容纳滚轮，以防止TCO材料溅射于滚轮侧的导轨或挡板上。此外，上导轨或/和下挡板的内侧壁设有用于防止滚轮位移的固定位，滚轮的周向方向设有与固定位相配合的凹槽。本实用新型从现有的导轨和滚轮的外接触方式，改变至导轨和滚轮的内接触方式，通过侧挡板和下挡板包裹于滚轮的外围，防止TCO材料溅射于滚轮侧的导轨或挡板上，避免了导轨和滚轮不断摩擦产生粉尘，提高了成品电池的合格率；导轨内侧的固定位可以防止托盘在运行过程中偏移，使滚轮和导轨之间摩擦更加平稳，减少粉尘，提高了空间的洁净度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 pvd 托盘 | ||
【主权项】：
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