[实用新型]一种PVD托盘有效
申请号: | 202121329254.X | 申请日: | 2021-06-15 |
公开(公告)号: | CN215163088U | 公开(公告)日: | 2021-12-14 |
发明(设计)人: | 赵锋;谷士斌;任明冲 | 申请(专利权)人: | 东方日升(常州)新能源有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;H01J37/32;H01L31/18 |
代理公司: | 南京中高专利代理有限公司 32333 | 代理人: | 祝进 |
地址: | 213200 江苏省常*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 pvd 托盘 | ||
1.一种PVD托盘,包括上导轨(20),其特征在于,还包括侧挡板(30)以及下挡板(40),所述上导轨(20)、侧挡板(30)以及下挡板(40)围合成滑动区以容纳滚轮(10)。
2.根据权利要求1所述的PVD托盘,其特征在于,所述上导轨(20)、侧挡板(30)以及下挡板(40)依次固定连接,所述上导轨(20)和下挡板(40)抵靠在所述滚轮(10)的上下方,所述侧挡板(30)贴合于所述滚轮(10)的侧壁。
3.根据权利要求2所述的PVD托盘,其特征在于,所述上导轨(20)或/和下挡板(40)的内侧壁设有至少一个固定位(50)。
4.根据权利要求3所述的PVD托盘,其特征在于,所述固定位(50)的高度为1-5mm,所述固定位(50)的截面呈锥台形结构或半圆形结构。
5.根据权利要求3所述的PVD托盘,其特征在于,所述固定位(50)和所述滚轮(10)之间设有耐磨橡胶垫。
6.根据权利要求1所述的PVD托盘,其特征在于,所述上导轨(20)通过连接板(60)连接侧挡板(30),所述侧挡板(30)和下挡板(40)固定连接,所述上导轨(20)贴合于所述滚轮(10)的周向上端,所述侧挡板(30)与所述滚轮(10)的侧壁之间保持间距,所述下挡板(40)与所述滚轮(10)的周向下端之间保持间距。
7.根据权利要求6所述的PVD托盘,其特征在于,所述上导轨(20)的内侧壁设有至少一个用于防止滚轮(10)位移的固定位(50)。
8.根据权利要求6所述的PVD托盘,其特征在于,所述上导轨(20)呈弯折形结构。
9.根据权利要求1所述的PVD托盘,其特征在于,所述上导轨(20)和下挡板(40)同时抵靠在滚轮(10)的上下方,所述侧挡板(30)与所述滚轮(10)的侧壁之间保持间距。
10.根据权利要求9所述的PVD托盘,其特征在于,所述上导轨(20)或/和下挡板(40)的内侧壁设有至少一个用于防止滚轮(10)位移的固定位(50),所述上导轨(20)和下挡板(40)均呈弯折形结构。
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