[实用新型]一种半导体电容传感机械手臂控制装置有效
| 申请号： | 202121326062.3 | 申请日： | 2021-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN215920488U | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 周鹏利 | 申请（专利权）人： | 芯挺（上海）半导体设备技术有限公司 |
| 主分类号： | B25J13/00 | 分类号： | B25J13/00;H01L21/677 |
| 代理公司： | 广东中衢知识产权代理事务所(普通合伙) 44755 | 代理人： | 孔丽丽 |
| 地址： | 201306 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及机械臂控制装置，并具体提供了一种半导体电容传感机械手臂控制装置，包括控制模组、继电器模组、电源模组以及电容阳极单元；所述控制模组与所述继电器模组以及所述电源模组相连，所述电容阳极单元设置在所述外部机械手上并与所述控制模组相连，所述继电器模组还与外部机械手臂暂停装置相连，本实用新型通过上述结构，通过设置电容阳极单元与晶圆片产生电容效应，并设置控制模组根据所述电容效应控制外部机械臂停止下降的方式实现了防止机械臂下降过度导致划伤晶圆，解决了现有技术当中如果外部机械臂发生了下垂，就容易刮蹭下面的晶圆的表面，同时由于没有即时的停止机制，容易造成晶圆材料的浪费并造成经济损失。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 电容 传感 机械 手臂 控制 装置 | ||
【主权项】：
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