[实用新型]一种半导体电容传感机械手臂控制装置

说明书

本实用新型涉及机械臂控制装置，并具体提供了一种半导体电容传感机械手臂控制装置，包括控制模组、继电器模组、电源模组以及电容阳极单元；所述控制模组与所述继电器模组以及所述电源模组相连，所述电容阳极单元设置在所述外部机械手上并与所述控制模组相连，所述继电器模组还与外部机械手臂暂停装置相连，本实用新型通过上述结构，通过设置电容阳极单元与晶圆片产生电容效应，并设置控制模组根据所述电容效应控制外部机械臂停止下降的方式实现了防止机械臂下降过度导致划伤晶圆，解决了现有技术当中如果外部机械臂发生了下垂，就容易刮蹭下面的晶圆的表面，同时由于没有即时的停止机制，容易造成晶圆材料的浪费并造成经济损失。

技术领域

本实用新型涉及机械臂控制,尤其是一种半导体电容传感机械手臂控制装置。

背景技术

机械手臂在抓取和传送晶圆时，由于物理摩擦或者长时间的金属疲劳，手臂下端会产生下垂，而由于晶圆盒每一格晶圆间距很小，在机械手臂抓取上一片晶圆的时候，如果手臂发生了下垂，就容易刮蹭下面的晶圆的表面；在全自动生产中，一般一次至少要加工完一盒晶圆才会进行目检晶圆表面，有时甚至是一个批次的加工完再目检，如果在加工过程中发生了刮蹭，由于没有即时的停止机制，同时也没有机制预防在传递晶圆的过程中中断或者报警，则会对客户造成一定的损失，现有的解决方法一般是定期对机械手臂进行校准，定期保养机械手臂，或者加工产品之前跑一定的测机晶圆，对设备状态进行确认；生产过程中间隔一定的晶圆数量进行抽查等等措施来确保机器状态正常。这些方式和措施在机械手臂正常状态下是不会有损失，但是一旦在机械手臂在运行的过程中出现下垂，由于单片晶圆成本本身就很高，那么在晶圆被划伤之后损失将会进一步加大。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种能机械手臂进行控制，防止划伤晶圆的后装式机械手臂防刮蹭装置；

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种半导体电容传感机械手臂控制装置，包括控制模组、继电器模组、电源模组以及电容阳极单元；

所述控制模组与所述继电器模组以及所述电源模组相连，所述电容阳极单元设置在所述外部机械手上并与所述控制模组相连，所述继电器模组还与外部机械手臂暂停装置相连；

其中，所述控制模组包括控制单元以及复位单元；

所述控制单元与所述复位单元相连。

进一步的，所述继电器模组还可与外部声光报警装置相连。

进一步的，所述控制单元的型号为ATTINY3217-MNR。

进一步的，所述继电器模组包括继电器单元以及继电器控制单元；

所述继电器控制单元与所述继电器单元以及所述控制模组相连，所述继电器单元与外部机械手臂暂停装置或外部声光报警装置相连。

进一步的，所述电源模块包括立式接口以及稳压单元；

所述立式接口与外部供电以及所述稳压单元相连，所述稳压单元还与所述控制模组相连。

本实用新型采用上述结构，通过设置电容阳极单元与晶圆片产生电容效应，并设置控制模组根据所述电容效应控制外部机械臂停止下降的方式实现了防止机械臂下降过度导致划伤晶圆，解决了现有技术当中如果外部机械臂发生了下垂，就容易刮蹭下面的晶圆的表面，同时由于没有即时的停止机制，容易造成晶圆材料的浪费并造成经济损失。

附图说明

图1为本实用新型一实施例的结构示意图；

图2为本实用新型一实施例中控制模组的电路示意图；

图3为本实用新型一实施例中继电器模组的电路示意图；

图4为本实用新型一实施例中电源模组的电路示意图；