[实用新型]用于提拉花篮的慢提装置及硅片处理设备

摘要

本实用新型公开了一种用于提拉花篮的慢提装置及硅片处理设备。用于提拉花篮的慢提装置包括载具、托架、第一传动组件、第二传动组件和驱动机构；驱动机构包括提升驱动机构和调节驱动机构；提升驱动机构包括第一驱动元件和转动轮，第一、第二传动组件各自包括有绕接在转动轮上的连接带、牵拉载具的链条；调节驱动机构包括调节轮、调节调节轮与转动轮的径向方向的间距的第二驱动元件、定滑轮组，所述第一连接带绕过所述定滑轮组。通过驱动第一传动组件和第二传动组件同步运行来提升载具，或者是驱动第一传动组件和第二传动组件其中一个运行来实现载具的倾斜，以使硅片表面的水珠滑落，减小硅片表面的携带的水量。