[实用新型]用于提拉花篮的慢提装置及硅片处理设备

权利要求书

1.一种慢提装置，包括放置硅片的载具，其特征在于，还包括：

带动所述载具的一端上升的第一传动组件(1)；

带动所述载具另一端上升的第二传动组件(2)；

驱动所述第一传动组件(1)和/或第二传动组件(2)运行的驱动机构(3)。

2.根据权利要求1所述的慢提装置，其特征在于，所述驱动机构(3)包括：驱动所述第一传动组件(1)和第二传动组件(2)同步运行的提升驱动机构(31)；驱动所述第一传动组件(1)或第二传动组件(2)不同步运行的调节驱动机构(32)。

3.根据权利要求2所述的慢提装置，其特征在于，所述提升驱动机构(31)包括：第一驱动元件(311)和设于所述第一驱动元件(311)的输出端且分别与所述第一传动组件(1)和第二传动组件(2)相对应的转动轮(312)。

4.根据权利要求3所述的慢提装置，其特征在于，所述第一传动组件(1)和第二传动组件(2)各自包括：连接带，所述连接带绕接在对应的转动轮(312)上；链条，所述链条的一端牵拉所述载具，另一端与所述连接带连接。

5.根据权利要求4所述的慢提装置，其特征在于，所述调节驱动机构(32)包括：调节轮(322)，所述连接带绕过所述调节轮(322)；第二驱动元件(321)，所述第二驱动元件(321)的输出端与所述调节轮(322)连接，以调节所述调节轮(322)与转动轮(312)的间距。

6.根据权利要求5所述的慢提装置，其特征在于，所述调节驱动机构(32)还包括定滑轮组(323)，所述连接带绕过所述定滑轮组(323)；所述定滑轮组(323)安装在转轴上，所述第二驱动元件(321)的输出端与所述转轴连接，以带动所述定滑轮组(323)与调节轮(322)同步运动。

7.根据权利要求1所述的慢提装置，其特征在于，所述慢提装置还包括放置所述载具的托架(4)，所述第一传动组件(1)和第二传动组件(2)分别连接于所述托架(4)相对的两端。

8.根据权利要求7所述的慢提装置，其特征在于，所述慢提装置还包括适于引导所述托架(4)运动的导向机构。

9.一种硅片处理设备，其特征在于，包括若干个槽体(6)，设于每个所述槽体(6)上的如权利要求1至8中任意一项所述的慢提装置。