[实用新型]一种用于超硬材料真空溅射镀钛装置

摘要

本实用新型提供一种用于超硬材料真空溅射镀钛装置。所述用于超硬材料真空溅射镀钛装置包括：真空桶，所述真空桶上设置有镀钛组件、真空机构和四个固定机构；所述镀钛机构包括旋转内桶、阴极靶材、阴极电线和旋转机构，所述旋转内桶设置在真空桶内，所述阴极靶材固定安装在真空桶的一侧内壁上，所述阴极靶材的一侧延伸至旋转内桶内，所述阴极电线固定安装阴极靶材的一侧，所述阴极电线的一端延伸至真空桶外。本实用新型提供的用于超硬材料真空溅射镀钛装置性能稳定，操作控制方便，溅射率高，磨料温度低等优点，并且磨料镀层均匀，钛层与磨料结合力强的优点。