[实用新型]一种用于超硬材料真空溅射镀钛装置

说明书

本实用新型提供一种用于超硬材料真空溅射镀钛装置。所述用于超硬材料真空溅射镀钛装置包括：真空桶，所述真空桶上设置有镀钛组件、真空机构和四个固定机构；所述镀钛机构包括旋转内桶、阴极靶材、阴极电线和旋转机构，所述旋转内桶设置在真空桶内，所述阴极靶材固定安装在真空桶的一侧内壁上，所述阴极靶材的一侧延伸至旋转内桶内，所述阴极电线固定安装阴极靶材的一侧，所述阴极电线的一端延伸至真空桶外。本实用新型提供的用于超硬材料真空溅射镀钛装置性能稳定，操作控制方便，溅射率高，磨料温度低等优点，并且磨料镀层均匀，钛层与磨料结合力强的优点。

技术领域

本实用新型属于镀钛技术领域，尤其涉及一种用于超硬材料真空溅射镀钛装置。

背景技术

超硬磨料表面镀钛是提高超硬工具性能、降低成本的主要手段之一，表面镀有钛层的磨料与结合剂具有较强把持力，防止磨料脱落，提高工具使用寿命和效率；在工具烧结时，钛层保护磨料，避免结合剂对磨料的腐蚀损伤。

但是，现有技术中，现阶段微蒸发镀钛是超硬磨料表面镀钛常用的一种技术，此过程是在高真空，温度650℃～780℃条件下完成的，由于混料中含有钛粉等粉尘物质，对真空炉造成极大伤害，增加成本；且此过程是在高温条件下完成的，使磨料强度降低很多；另外微蒸发镀钛，钛层与磨料把持力不够。

因此，有必要提供一种新的用于超硬材料真空溅射镀钛装置解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型解决的技术问题是提供一种性能稳定，操作控制方便，溅射率高，磨料温度低等优点，并且磨料镀层均匀，钛层与磨料结合力强的用于超硬材料真空溅射镀钛装置。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的用于超硬材料真空溅射镀钛装置包括：真空桶，所述真空桶上设置有镀钛组件、真空机构和四个固定机构；

所述镀钛机构包括旋转内桶、阴极靶材、阴极电线和旋转机构，所述旋转内桶设置在真空桶内，所述阴极靶材固定安装在真空桶的一侧内壁上，所述阴极靶材的一侧延伸至旋转内桶内，所述阴极电线固定安装阴极靶材的一侧，所述阴极电线的一端延伸至真空桶外，所述旋转机构包括四个弧形安装板、四个转轴、四个圆形齿轮、两个齿圈、连接轴和驱动电机，四个所述弧形安装板均固定安装在真空桶的底部内壁上，四个所述转轴分别转动安装在对应的两个弧形安装板上，四个所述圆形齿轮分别固定套设在四个转轴上，两个所述齿圈均固定套设在旋转内桶上，所述齿圈与对应的两个圆形齿轮相啮合，所述连接轴固定安装在对应的转轴的一端，所述连接轴远离转轴的一端延伸至真空桶外，所述驱动电机固定安装在真空桶的一侧外壁上，所述驱动电机的输出轴与连接轴的一端固定连接；

所述真空机构包括真空泵、抽风管和排风管，所述真空泵固定安装在真空桶的底部，所述抽风管固定安装在真空泵的进气端，所述抽风管远离真空泵的一端延伸至真空桶内，所述排风管固定安装在真空泵的排气端。

作为本实用新型的进一步方案，所述真空桶的底部固定安装有氩气进气管，所述真空桶的一侧外壁上设置有桶盖，所述桶盖上固定安装有两个固定杆，两个所述固定杆均与真空桶的一侧外壁相铰接。

作为本实用新型的进一步方案，所述固定机构包括匚形块、螺纹杆和螺纹套筒，所述匚形块固定安装在桶盖的顶部，所述螺纹杆铰接在真空桶的一侧外壁上，所述螺纹杆贯穿匚形块，所述螺纹套筒螺纹套设在螺纹杆上，所述螺纹套筒的一侧与匚形块的一侧外壁相接触。

作为本实用新型的进一步方案，所述真空桶的底部内壁上固定安装有限位块，所述限位块的顶部开设有限位凹槽，所述旋转内桶上固定套设有限位环，所述限位环和限位凹槽相适配。

作为本实用新型的进一步方案，所述真空桶的一侧外壁上开设有第一通孔，所述第一通孔内固定安装有密封块，所述阴极电线贯穿密封块。

作为本实用新型的进一步方案，所述螺纹套筒上固定安装有三个连接杆，三个所述连接杆远离螺纹套筒的一端固定安装有环形把手，所述旋转内桶的两侧均开设有开口。