[实用新型]一种用于超硬材料真空溅射镀钛装置

权利要求书

1.一种用于超硬材料真空溅射镀钛装置，其特征在于，包括：

真空桶，所述真空桶上设置有镀钛组件、真空机构和四个固定机构；

所述镀钛机构包括旋转内桶、阴极靶材、阴极电线和旋转机构，所述旋转内桶设置在真空桶内，所述阴极靶材固定安装在真空桶的一侧内壁上，所述阴极靶材的一侧延伸至旋转内桶内，所述阴极电线固定安装阴极靶材的一侧，所述阴极电线的一端延伸至真空桶外，所述旋转机构包括四个弧形安装板、四个转轴、四个圆形齿轮、两个齿圈、连接轴和驱动电机，四个所述弧形安装板均固定安装在真空桶的底部内壁上，四个所述转轴分别转动安装在对应的两个弧形安装板上，四个所述圆形齿轮分别固定套设在四个转轴上，两个所述齿圈均固定套设在旋转内桶上，所述齿圈与对应的两个圆形齿轮相啮合，所述连接轴固定安装在对应的转轴的一端，所述连接轴远离转轴的一端延伸至真空桶外，所述驱动电机固定安装在真空桶的一侧外壁上，所述驱动电机的输出轴与连接轴的一端固定连接；

所述真空机构包括真空泵、抽风管和排风管，所述真空泵固定安装在真空桶的底部，所述抽风管固定安装在真空泵的进气端，所述抽风管远离真空泵的一端延伸至真空桶内，所述排风管固定安装在真空泵的排气端。

2.根据权利要求1所述的用于超硬材料真空溅射镀钛装置，其特征在于：所述真空桶的底部固定安装有氩气进气管，所述真空桶的一侧外壁上设置有桶盖，所述桶盖上固定安装有两个固定杆，两个所述固定杆均与真空桶的一侧外壁相铰接。

3.根据权利要求2所述的用于超硬材料真空溅射镀钛装置，其特征在于：所述固定机构包括匚形块、螺纹杆和螺纹套筒，所述匚形块固定安装在桶盖的顶部，所述螺纹杆铰接在真空桶的一侧外壁上，所述螺纹杆贯穿匚形块，所述螺纹套筒螺纹套设在螺纹杆上，所述螺纹套筒的一侧与匚形块的一侧外壁相接触。

4.根据权利要求1所述的用于超硬材料真空溅射镀钛装置，其特征在于：所述真空桶的底部内壁上固定安装有限位块，所述限位块的顶部开设有限位凹槽，所述旋转内桶上固定套设有限位环，所述限位环和限位凹槽相适配。

5.根据权利要求1所述的用于超硬材料真空溅射镀钛装置，其特征在于：所述真空桶的一侧外壁上开设有第一通孔，所述第一通孔内固定安装有密封块，所述阴极电线贯穿密封块。

6.根据权利要求3所述的用于超硬材料真空溅射镀钛装置，其特征在于：所述螺纹套筒上固定安装有三个连接杆，三个所述连接杆远离螺纹套筒的一端固定安装有环形把手，所述旋转内桶的两侧均开设有开口。