[实用新型]一种阴极挡板可调的磁控溅射镀膜机构

摘要

本实用新型涉及一种阴极挡板可调的磁控溅射镀膜机构，包含阴极、分子泵、牵引机构、挡板支架和输送机构；所述阴极处设置有靶材和阴极背板，挡板支架位于输送机构的上方，挡板支架上设置有滑轨和阴极挡板，阴极挡板与滑轨滑动配合，牵引机构带动阴极挡板沿滑轨滑动；本方案将阴极挡板设计成滑动可调的结构，可以根据产品膜厚需求，自动调整阴极挡板开口大小，从而达到调整膜厚的目的；并且阴极挡板还可以设计成分段式结构，分别控制每一段的开口大小，从而提高了产品连续批量生产的一致性，有效地改善了膜层的均匀性，使镀膜玻璃产品质量及外观性能满足客户需求。