[实用新型]一种阴极挡板可调的磁控溅射镀膜机构有效
| 申请号： | 202121270459.5 | 申请日： | 2021-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN215050657U | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 林嘉佑 | 申请（专利权）人： | 台玻长江玻璃有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 苏州铭浩知识产权代理事务所(普通合伙) 32246 | 代理人： | 于浩江 |
| 地址： | 215300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 阴极 挡板 可调 磁控溅射 镀膜 机构 | ||
【权利要求书】：
1.一种阴极挡板可调的磁控溅射镀膜机构，其特征在于：包含阴极（1）、分子泵（2）、牵引机构（3）、挡板支架（4）和输送机构；所述阴极（1）处设置有靶材（5）和阴极背板（6），挡板支架（4）位于输送机构的上方，挡板支架（4）上设置有滑轨和阴极挡板（7），阴极挡板（7）与滑轨滑动配合，牵引机构（3）带动阴极挡板（7）沿滑轨滑动。
2.根据权利要求1所述的阴极挡板可调的磁控溅射镀膜机构，其特征在于：所述牵引机构（3）包含电机、无磁性不锈钢丝和多个换向导轮，电机设置在分子泵（2）的安装空间处，无磁性不锈钢丝穿过分子泵（2）的安装空间上的抽气口，无磁性不锈钢丝与多个换向导轮配合，电机通过无磁性不锈钢丝牵引阴极挡板（7）沿滑轨滑动。
3.根据权利要求1所述的阴极挡板可调的磁控溅射镀膜机构，其特征在于：所述阴极挡板（7）为分段式结构，每一段阴极挡板（7）均与一组滑轨和牵引机构（3）配合。
4.根据权利要求1所述的阴极挡板可调的磁控溅射镀膜机构，其特征在于：所述挡板支架（4）上还设置有防护罩版（8），防护罩版（8）位于阴极挡板（7）的上方。
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