[实用新型]一种阴极挡板可调的磁控溅射镀膜机构

说明书

本实用新型涉及一种阴极挡板可调的磁控溅射镀膜机构，包含阴极、分子泵、牵引机构、挡板支架和输送机构；所述阴极处设置有靶材和阴极背板，挡板支架位于输送机构的上方，挡板支架上设置有滑轨和阴极挡板，阴极挡板与滑轨滑动配合，牵引机构带动阴极挡板沿滑轨滑动；本方案将阴极挡板设计成滑动可调的结构，可以根据产品膜厚需求，自动调整阴极挡板开口大小，从而达到调整膜厚的目的；并且阴极挡板还可以设计成分段式结构，分别控制每一段的开口大小，从而提高了产品连续批量生产的一致性，有效地改善了膜层的均匀性，使镀膜玻璃产品质量及外观性能满足客户需求。

技术领域

本实用新型涉及一种阴极挡板可调的磁控溅射镀膜机构。

背景技术

目前国内外用于生产镀膜玻璃的磁控溅射镀膜生产线，在每个周期设备保养时，阴极挡板都要做喷砂清理工作，然后重新安装时调整两块阴极挡板的开口至设定大小，且要调至开口边平行，两块阴极挡板开口边上的每个点的位置距滚轮的高度也要相同；保养完成后在真空状态下阴极挡板就无法再作调整，镀膜生产线抽真空到生产条件后，生产工艺人员通过分段式补偿气体量来调整膜层均匀性；若通过气体匹配量无法再调整膜层均匀性至要求条件时，只能待下次保养时破真空后手动调整阴极挡板的开口或者调整磁杠垫片厚度，从而造成膜层均匀性差无法及时调整，影响产品品质及外观质量；并且因为需要反复调整阴极挡板的开口或者调整磁杠垫片厚度也造成了设备频繁破真空保养、反复抽真空，浪费成本、生产效率低下。

实用新型内容

本实用新型目的是为了克服现有技术的不足而提供一种阴极挡板可调的磁控溅射镀膜机构。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种阴极挡板可调的磁控溅射镀膜机构，包含阴极、分子泵、牵引机构、挡板支架和输送机构；所述阴极处设置有靶材和阴极背板，挡板支架位于输送机构的上方，挡板支架上设置有滑轨和阴极挡板，阴极挡板与滑轨滑动配合，牵引机构带动阴极挡板沿滑轨滑动。

优选的，所述牵引机构包含电机、无磁性不锈钢丝和多个换向导轮，电机设置在分子泵的安装空间处，无磁性不锈钢丝穿过分子泵的安装空间上的抽气口，无磁性不锈钢丝与多个换向导轮配合，电机通过无磁性不锈钢丝牵引阴极挡板沿滑轨滑动。

优选的，所述阴极挡板为分段式结构，每一段阴极挡板均与一组滑轨和牵引机构配合。

优选的，所述挡板支架上还设置有防护罩版，防护罩版位于阴极挡板的上方。

由于上述技术方案的运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

本实用新型方案的阴极挡板可调的磁控溅射镀膜机构，将阴极挡板设计成滑动可调的结构，可以根据产品膜厚需求，自动调整阴极挡板开口大小，从而达到调整膜厚的目的；并且阴极挡板还可以设计成分段式结构，分别控制每一段的开口大小，从而提高了产品连续批量生产的一致性，有效地改善了膜层的均匀性，使镀膜玻璃产品质量及外观性能满足客户需求。

附图说明

下面结合附图对本实用新型技术方案作进一步说明：

附图1为本实用新型所述的一种阴极挡板可调的磁控溅射镀膜机构的示意图；

附图2为本实用新型所述的一种阴极挡板可调的磁控溅射镀膜机构的俯视结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图及具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明。

如图1-2所示，本实用新型所述的一种阴极挡板可调的磁控溅射镀膜机构，包含阴极1、分子泵2、牵引机构3、挡板支架4和输送机构；所述输送机构包含多个输送辊9，输送辊9带动玻璃10从阴极1和挡板支架4的下方经过。