[实用新型]一种用于清洗方形硅片的专用夹具有效
| 申请号： | 202121270395.9 | 申请日： | 2021-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN214919026U | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 王文和;倪党生;卢刘振 | 申请（专利权）人： | 上海思恩装备科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B11/02 | 分类号： | B08B11/02 |
| 代理公司： | 上海索源知识产权代理有限公司 31431 | 代理人： | 安惠中 |
| 地址： | 201611 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了硅片加工清洗技术领域的一种用于清洗方形硅片的专用夹具，包括夹具机体、定位螺母、活动钳口与固定钳口，夹具机体，夹具机体的顶部设置有十字悬臂，十字悬臂的顶部均匀开设有倒T形槽，固定钳口设置为空心圆柱体，倒T形槽的底部均匀开设有螺纹孔，活动钳口设置于倒T形槽的上部定位螺母贯穿螺纹孔将活动钳口与固定钳口螺接固定。本实用新型通过十字悬臂、定位螺母、活动钳口、固定钳口、排液孔、螺纹孔和T形槽的配合，实现对方形硅片快速夹紧，且能够夹持不同规格的硅片，提高了方形硅片清洗作业的工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 清洗 方形 硅片 专用 夹具 | ||
【主权项】：
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