[实用新型]一种用于清洗方形硅片的专用夹具

说明书

本实用新型公开了硅片加工清洗技术领域的一种用于清洗方形硅片的专用夹具，包括夹具机体、定位螺母、活动钳口与固定钳口，夹具机体，夹具机体的顶部设置有十字悬臂，十字悬臂的顶部均匀开设有倒T形槽，固定钳口设置为空心圆柱体，倒T形槽的底部均匀开设有螺纹孔，活动钳口设置于倒T形槽的上部定位螺母贯穿螺纹孔将活动钳口与固定钳口螺接固定。本实用新型通过十字悬臂、定位螺母、活动钳口、固定钳口、排液孔、螺纹孔和T形槽的配合，实现对方形硅片快速夹紧，且能够夹持不同规格的硅片，提高了方形硅片清洗作业的工作效率。

技术领域

本实用新型涉及硅片加工清洗技术领域，具体为一种用于清洗方形硅片的专用夹具。

背景技术

硅片制成的芯片是有名的“神算子”，有着惊人的运算能力。无论多么复杂的数学问题、物理问题和工程问题，也无论计算的工作量有多大，工作人员只要通过计算机键盘把问题告诉它，并下达解题的思路和指令，计算机就能在极短的时间算出答案。这样，那些人工计算需要花费数年、数十年时间的问题，计算机可能只需要几分钟就可以解决。

芯片又是现代化的微型“知识库”，它具有神话般的存储能力，在针尖大小的硅片上可以装入一部24卷本的《大英百科全书》。如今世界上的图书、杂志已多达3000多万种，而且每年都要增加50多万种，可谓浩如烟海。德国未来学家拜因豪尔指出：“今天的科学家，即使整日整夜地工作，也只能阅读本专业全部出版物的5％。”出路何在呢？唯一的办法就是由各个图书情报资料中心负责把各种情报存入硅片存储器，并用通信线路将其连接成网。这样，科技人员要查找某种资料和数据时，只要坐在办公室里操作计算机键盘，立即就会在计算机的荧光屏上显示出所要查询的内容。

在方形硅片生产加工的过程汇总，需要进行流水线式的清洗步骤，不断的更换清洗池，由于硅片属于精密工件，因此在清洗的过程中，保证夹持稳定性的同时，要对硅片的表面进行保护，目前在方形硅片清洗时使用的夹具在进行夹持时需要消耗大量的时间，导致硅片的清洁效率较低，故需要对其作出改进。

基于此，本实用新型设计了一种用于清洗方形硅片的专用夹具，以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于清洗方形硅片的专用夹具，以解决上述背景技术中提出的在方形硅片生产加工的过程汇总，需要进行流水线式的清洗步骤，不断的更换清洗池，由于硅片属于精密工件，因此在清洗的过程中，保证夹持稳定性的同时，要对硅片的表面进行保护，目前在方形硅片清洗时使用的夹具在进行夹持时需要消耗大量的时间，导致硅片的清洁效率较低，故需要对其作出改进的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于清洗方形硅片的专用夹具，包括夹具机体、定位螺母、活动钳口与固定钳口，所述夹具机体，所述夹具机体的顶部设置有十字悬臂，所述十字悬臂以所述夹具机体轴线为中心呈中心对称，所述十字悬臂的顶部均匀开设有倒T形槽，所述固定钳口设置为空心圆柱体，所述固定钳口的底部均嵌入所述倒T形槽中，所述固定钳口底部尺寸与所述倒T形槽的横截面尺寸相匹配，所述倒T形槽的底部均匀开设有螺纹孔，所述螺纹孔与所述固定钳口底部圆孔同心，所述活动钳口设置于所述倒T形槽的上部所述定位螺母贯穿所述螺纹孔将所述活动钳口与所述固定钳口螺接固定。

优选的，所述夹具机体设置为空心圆柱凸台结构，且凸台底部设置有空腔，空腔的腔壁均设置有限位槽。

优选的，所述倒T形槽的槽底两侧面均为圆弧形，所述螺纹孔依据硅片的规格共并列设置有三组。

优选的，所述夹具机体的外壁上部均匀开设有排液孔，所述排液孔共设置有四组，并所述夹具机体轴线为中心呈中心对称。

优选的，所述定位螺母的中部为圆柱形，前部设置有螺纹及螺纹退刀槽，尾部设置为大头螺母头的样式。